三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到10-2t...
雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng),并目連接有循環(huán)手套箱。此款設備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作...
小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)(等離子體化學氣相沉積)滑...
三溫區(qū)1500°C PECVD系統(tǒng)是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質子混氣系統(tǒng)和...
4路質子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD),內...
OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng),組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐,預熱爐(作用...
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