雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

工作溫度高達(dá)1200℃

工作溫度∶1200℃

爐管尺寸∶ ④50，φ60，φ80都可用

溫度控制器∶30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器加熱區(qū)長度∶ 440mm

恒溫區(qū)長度∶150mm注;由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員功率∶AC 220V 4KW

諭出功率∶50.-500W'

可控范圍=1%

RF頻率∶13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%噪聲∶≤55DB

冷卻∶ 風(fēng)冷
諭入功率;∶ 1KW AC 220V

采用KF25系列波紋管和精密針閥連接真空度可達(dá)10-3torr

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為38x10至 1125Tor.不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

爐體∶ 550*380*520mm

供氣及真空系統(tǒng)∶ 600*600*597mm

凈重∶ 120KG

 CE認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會(huì)更加安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊石英管的長時(shí)間使用溫度 <100°℃

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）