工作溫度1500℃連續(xù)使用溫度1400℃

個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)來控制，都可設置30段升降溫程序每個溫區(qū)長度為200mm總溫區(qū)長度為600mm爐管為高純剛玉管

爐管尺寸∶（標配）60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶（選配）800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC，單相功率∶ 6.6KW

配有一對不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口

內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。

輸出功率∶5-500W±1%

射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%.

反射功率∶ 200W

匹配∶自動

射頻接口∶50 Ω，N-type

噪音∶<50 dB.

冷卻∶風冷

電源∶AC 208-.240V;5060Hz

輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉換器）

測量范圍 3.8x10-5 1125 Torr.

數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭

產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm（長*寬*高）

采用TRP-12的雙旋真空泵，極限真空10E.3 Torr

KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連管內真空可達10E-2 Torr

四個精密的質量流量計（精度15%）∶數(shù)字顯示，自動控制． MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個混氣罐，底部裝有泄廢液口.

4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側，可手動控制4種氣體進氣口∶4個14NPS.出氣口∶4個 14NPs.

采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制

三個溫區(qū)分別由三個溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻

可選;此款設備可以安裝控制模塊，將溫度設置和溫度曲線導入到電腦

爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運輸重量∶ 1200lbs

CE認證

所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認證

若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證