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OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款雙溫區(qū)的PE-CVD管式爐系統(tǒng)，組成部分為500W的射頻發(fā)生器、滑動速度可控的雙溫區(qū)滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發(fā)）和德國進口的無油泵。此款PE-CVD對于生長納米線或用CVD，方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
| 特點 | 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞可以通過爐體滑動來達到快速升溫 和快速障溫的效果 爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區(qū)溫差為400℃管式爐工作溫度為1100℃ 帶有預熱爐，溫度為1100℃，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。 |
雙溫區(qū)滑軌爐
| 連續(xù)工作溫度為1100℃ 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點擊文字查看詳細資料）兩個溫控系統(tǒng)獨立控制兩個溫區(qū)，都可設置30段升降溫程序每個溫區(qū)長度為200mm總溫區(qū)長度∶ 400mm 恒溫區(qū)∶200mn（兩個溫區(qū)設置同樣的溫度）注∶由于則量手段及外部環(huán)境的影響，則里結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數據，請與我公司銷售人員 兩個溫區(qū)溫差為∶400℃爐管材料∶高純石英管 石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需電源∶208-240VAC單相 功率∶4KW |
| 等離子射頻發(fā)生器 | 輸出功率∶ 5 -500W可調穩(wěn)定性為∶ +/-1% 射頻電源頻率∶1356MH， 穩(wěn)定性=0.005% 反向功率∶200W 射頻電源電子輸出口∶50ΩN型半導體. 陰極噪音∶<50 dB. 冷卻方式∶空氣冷卻 輸入電源∶208-240VAC，50/60Hz |
| 預熱爐 | 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm 溫度∶ 1100℃ 可設置30段升降溫程序控溫儀表操作視頻 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐 也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合 |
| 防腐型數顯真空計 | 測量范圍3.8x10->至 1125 Torr 當氣壓在10mbar以上時，可獨立測量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）對于氣體的壓力檢測具有較高的準確度和重復性信號響應時間較短（S30ms） 因為傳感器上鍍有防腐涂層，所以具有較好的抗腐蝕性 |
| 真空泵和閥 | 可以從本公司選購以下幾種真空泵 如您想獲得更高的真空度（<10-》tor orbeter）可選國產或進口高真空機組配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件 |
| 電動滑軌 | 可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體署動，以達到快速升溫和快速障溫的效果骨動速度∶ 0-70 mm/s（可調） |
| 升溫和降溫速率 | FS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用 在本公司購買） 為了獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置 加熱速率 冷卻速率 15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C) 10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C); 7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C); 23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C); 1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃); 1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C); 0.5℃C/sec (400℃-300℃); 0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C); |
| 可選 | 可以選購2-4通道質子流里計混氣系統(tǒng) |
| 外形尺寸 | 爐體∶550x380x 520 mm 滑軌長度∶ 1750 mm |
| 凈重 | 220 Lbs. |
| 質保期 | 一年質保期，終生維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件） |
| 質量認證 | CE Certified |
| 使用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購喊壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<、1100°℃C 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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