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OTF-1200X-PESDFG-5 雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)、循環(huán)手套

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 南京淳寅嘉生物科技有限公司
品牌
型號 OTF-1200X-PESDFG-5
所在地 南京市
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2021/3/30 9:19:17
訪問次數(shù) 320

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促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，并目連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后，直接把樣品移入到氣氛保護環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新—代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

詳細信息在線詢價

爐體結(jié)構(gòu)	兩個爐體在一個滑軌上面，和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果連續(xù)工作溫度∶1100℃ 兩個爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序
等離子體射頻電源	輸出頻率∶13.56 MHz ±0.005% 射頻頂值功率∶ 500W 匹配∶ 自動匹配噪音∶<50 dB. 冷卻∶空氣冷卻輸入電源∶208-240VAC，單相， 50/60Hz
真空系統(tǒng)	采用vRD-16的雙旋真空泵，極限真空10E-3 Torr KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連管內(nèi)真空可達10E-2 Torr
質(zhì)量流量計混氣系統(tǒng)	四個精密的質(zhì)量流量計（精度1.5%）∶ 數(shù)字顯示，自動控制. MFC1范圍∶ 0~100 sccm MFC2和3∶ 0~200 sccm MFC4范圍∶ 0~500 sccm 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. 4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體. 進氣口∶4個1/4NPS. 出氣口∶4個 1/4NPps. 采用PLc控制流量計，通過觸摸屏進行控制可選購氣液混合裝置，用于cvD系統(tǒng)
爐管&密封法蘭	高純石英管，尺寸50毫米 O.D x 44毫米 I.D x 1800 毫米 L 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計
防腐型真空計	輸入電源 24v，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）測量范圍 3.8x10-5 --1125 Torr. 數(shù)據(jù)顯示數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr 接頭 KF16 接頭產(chǎn)品尺寸46mm×28mm×126mm（長x寬x高）
循環(huán)手套箱	手套箱尺寸∶ 780mm（長）x700mm（寬）×650mm（高）帶有除水系統(tǒng)∶保持水含量<2 ppm -真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證所有電器元件（輸入電源<24V）都通過連UL/MET/CSA認(rèn)證