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Huace-6S 高低溫探針臺(tái)zuida可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無(wú)結(jié)霜

Huace-6S 高低溫探針臺(tái)

特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ zuida可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無(wú)結(jié)霜

◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量

◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡

◆ 可搭配多種類型顯微鏡

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無(wú)縫升級(jí)

◆ 探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。

技術(shù)參數(shù)

臺(tái)體規(guī)格
樣品臺(tái)尺寸	6英寸/8英寸/12英寸
水平旋轉(zhuǎn)	可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程	6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸
X-Y移動(dòng)精度	10μm/1μm
樣品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)	U型針座平臺(tái)，zuiduo可放置6-12個(gè)探針座
平臺(tái)升降	可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm
背電極測(cè)試	樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
溫度范圍	負(fù)80°到正400°
溫控精度	0.01°/0.1°/1°
設(shè)備重量	約20KG/30KG

光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程	水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動(dòng)4英寸，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

可選附件：

加熱臺(tái)；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測(cè)試配件；

屏蔽箱；

光學(xué)平臺(tái)；
鍍金卡盤；
光電測(cè)試配件；

高壓測(cè)試配件；

顯微鏡快速傾仰裝置；

激光系統(tǒng)；

探針卡夾具；

Huace-6S 高低溫探針臺(tái)

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