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1、物鏡和消像散器

        物鏡是成像系統(tǒng)的*個(gè)成像透鏡。 —臺(tái)電子顯微鐐性能的好壞， 主要由物鏡的光學(xué)特性所決定。 物鏡的任何缺陷都將被成像系統(tǒng)中的其它透鏡進(jìn)—步放大。 因此， 要求物鏡的像差盡可能小和有足夠高的放大倍數(shù)， 通常采用強(qiáng)激磁、 短焦距 （1.5-3mm） 的物鏡及物鏡光闌來(lái)降低球差。 由于光閑孔徑過(guò)小時(shí)， 會(huì)因衍射效成使物鏡降低分辨率和因光闡邊緣的污染效應(yīng)使電子束的干擾較強(qiáng)， 因此光閑孔徑不能太小。

        消像散器是保證物鏡提高分辨率的—個(gè)重要部件。 它利用—個(gè)強(qiáng)度和方位可調(diào)節(jié)的嬌止磁場(chǎng)來(lái)校正物鏡非軸對(duì)稱引起的軸上像散。

        現(xiàn)在常用的電磁消像散器是由均勻裝在極靴間隙周圍的兩組四對(duì)電磁體所組成，每對(duì)電磁體均用同極相對(duì)的安置方式安裝， 通電流時(shí)，兩組電磁體分別形成的兩個(gè)橢圓形矯正滋場(chǎng)彼此垂直， 通過(guò)改變兩組電磁 的激磁強(qiáng)度和磁場(chǎng)方向— 便能形成—個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的矯正磁場(chǎng)。 若其強(qiáng)度與透鏡像散場(chǎng)相等， 而方向互相垂直， 就起到了消除像散的作用 。

2、中間鏡和投影鏡

        中間鏡是一個(gè)長(zhǎng)焦距可變放大倍數(shù)的弱磁透鏡。 極靴內(nèi)孔較大， 放大倍數(shù)在0-20 之間。 當(dāng)放大倍數(shù)大于1時(shí)它用來(lái)放大物鏡像； 當(dāng)放大倍數(shù)小于1時(shí)， 它用來(lái)縮小物鏡像。

        投影鏡是—個(gè)短焦距的強(qiáng)磁透鏡， 使用 上 下對(duì)稱的小孔徑極靴— 用以得到大的放大倍數(shù)。 投影鏡具有因定的勵(lì)磁電流， 它起著將中問(wèn)鏡像放大并投射到熒光屏上的作用。

3、 三級(jí)放大成儡

        電子顯微鏡的zui高放大倍數(shù)是由儀器性能、 照相底板 （或熒光屏） 的分辨率等因素決定的， 一般情況下— 二級(jí)放大成像系統(tǒng)可以獲得放大了20萬(wàn)倍左右的電子像。 物鏡將試樣的細(xì)節(jié)放大100倍成像于物鏡像平而人中間鏡將物鏡的像放大20倍成像于投影鏡上； 投影鏡將中間鏡的像放大100倍成像于熒光屏上.。放大僧?dāng)?shù)的調(diào)節(jié)， 可通過(guò)改變中間鑲的勵(lì)as電流來(lái)實(shí)現(xiàn)。 中間鎮(zhèn)的勵(lì)磁電流變化后， 物鏡的勵(lì)破電流也要適當(dāng)改變， 保證物鏡像平面與中間鑲物面熏合， 以便獲得聚姥清晰的像。
        在三級(jí)成像系統(tǒng)中， 若改變物就的勵(lì)磁電流， 則可使物鏡成像于中間鑲之下. 中間鏡以
物鏡像為 “虛物”， 將其形成為編小的實(shí)像于投影鏡物面A. 由投影鏡成像于熒光屏上， 這樣可得到放大了幾千至幾萬(wàn)倍的電子像。用這種方法產(chǎn)生的圖像畸變，可以 由 中間鏡的桶形醋變與投影鑲的枕形醋變互相補(bǔ)償而降低。
        若關(guān)閉物鏡. 用中間鏡代替物鎮(zhèn)成像， 則放大倍數(shù)可降到 加100~300左右，能獲得視野較大的圖像。