美國(guó)產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE25臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
等離子表面處理機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備,它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性*的氣體等離子體,氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達(dá)到對(duì)樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗,在極短時(shí)間內(nèi)有機(jī)污染物就被外接真空泵*抽走,其清洗能力可以達(dá)到分子級(jí)。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì),所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,也能對(duì)樣品進(jìn)行消毒和殺菌。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。小型等離子清洗機(jī)以體積小、成本低、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場(chǎng)合。
PE公司成立于1980年,致力于提供電子行業(yè)用的等離子設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。通過幾十年的發(fā)展,公司發(fā)展成為提供等離子設(shè)備方面的專家,可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案,先后眾多企業(yè)提供等離子處理設(shè)備:美國(guó)宇航局NASA, 美國(guó)波音Boeing,*的電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國(guó)霍尼韋爾Honeywell,美國(guó)摩托羅拉Moto, 德國(guó)拜耳Bayer,飛機(jī)的企業(yè)美國(guó)洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
PE公司介紹
PE25小型等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué),研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì),突出移動(dòng)方便,超高功能和性能,操作方便的使用特性。
美國(guó)PE25小型等離子清洗機(jī)設(shè)備特點(diǎn):
1. 體積小,(寬356mm*高368mm*深457mm),配備小型真空泵,無需占用很大空間,可以放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。
2. 性能可靠,“度量”寬大。真空腔體采用T6061經(jīng)過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接,電極面積達(dá)到89mm*170mm,腔體與電極之間的間隙可到53mm,可以輕松將大部分實(shí)驗(yàn)樣品放入真空腔體內(nèi)。
3. 配置靈活,PE25擁有靈活多變的參數(shù)配置組合,能夠滿足使用者的不同需求。除了配置不同的頻率(50KHz,13.56MHz),不同的頻率段,還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上,也配置了面板控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制,以滿足用戶的使用要求。
4. 操作簡(jiǎn)便,設(shè)備的安裝非常簡(jiǎn)單,工廠還提供詳盡的說明和相應(yīng)的管道等配件。面板的操作部分,在設(shè)計(jì)中做到盡可能簡(jiǎn)單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障:在小型設(shè)備中,*引入一鍵急停保護(hù)按鈕,當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動(dòng)的時(shí)候,可以快速終止實(shí)驗(yàn),以zui小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。
美國(guó)PE25小型等離子清洗機(jī)參數(shù):
外部尺寸 | W14xH14.5xD18 (356mm*368mm*457mm )重量:52磅 |
真空腔材質(zhì) | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 5IDx8D (127mm*203mm) |
電極尺寸 | 89*178mm,間隙63mm |
等離子發(fā)生器 | 功率 max.400w(可調(diào)) 頻率:50KHz(可選配13.56MHz) |
供氣 | 氣體流量控制器 0-25cc/min w/精密針形閥 |
壓力測(cè)量 | 熱電偶真空計(jì) 0-1Torr |
控制器 | PLC微電腦控制系統(tǒng)。方案工藝可以進(jìn)行自動(dòng)處理 |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC,14A |
附件(可選件)
抽氣裝置:*型號(hào):5 CFM 2級(jí) 直驅(qū)真空油泵
•氧氣發(fā)生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
•125W/300W, 13.56MHz可自動(dòng)調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器
美國(guó)PE25小型等離子清洗機(jī)?高級(jí)裝置:
•PC /筆記本電腦的控制系統(tǒng):裝載有等離子蝕刻軟件的一臺(tái)筆記本電腦是包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作,
流程排序,多配方存儲(chǔ),以及其他高級(jí)功能。
•質(zhì)量流量控制器:附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
樣品處理實(shí)例(碳化鎢基底上的DLC涂層去除)
功能:
• 對(duì)金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機(jī)污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進(jìn)行超AA清洗。
• 改變某些材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強(qiáng)這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。
• 清除金屬材料表面的氧化層。
• 對(duì)被清洗物進(jìn)行消毒、殺菌。