MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫*化，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。

MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡詳細(xì)介紹：

始終提供*觀察影像的光學(xué)系統(tǒng)
強(qiáng)大的缺陷檢查能力

采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫*化，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。
觀察影像實(shí)例

明視場(chǎng)觀察

新暗視場(chǎng)觀察

傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察

自動(dòng)調(diào)節(jié)*亮度

亮度光圈調(diào)節(jié)示意圖

物鏡選擇和觀察方法切換連動(dòng)，自動(dòng)地調(diào)節(jié)亮度光圈。提高了觀察速度并減輕疲勞。

對(duì)應(yīng)各種設(shè)備的實(shí)時(shí)AF

深紫外線觀察用物鏡

MX61A裝載了在對(duì)焦精度、對(duì)焦速度上性能*的動(dòng)態(tài)AF。新開(kāi)發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用，大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中，實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦。

對(duì)應(yīng)多種觀察方法

物鏡UIS2系列產(chǎn)品

在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品，與各種觀察單元組合，可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。 觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單，只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。

觀察影像實(shí)例

明視場(chǎng)觀察	暗視場(chǎng)觀察	微分干涉觀察
熒光觀察	近紅外線觀察（左）和可見(jiàn) 光線觀察（右）的比較

提供擴(kuò)展性的解決方案 提供擴(kuò)展性的解決方案

適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分 析引擎）模塊

MX61A大尺寸智能型全自動(dòng)顯微鏡"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)MX61A系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備。一直以來(lái)，必需進(jìn)行若干個(gè)操作才能實(shí)現(xiàn)的高級(jí)觀察方法、深紫外線觀察等的切換，只要一次點(diǎn)擊就能順利完成。該軟件進(jìn)一步拓展了MX61A的擴(kuò)張性，滿足了不斷變化的分析需求。

顯微鏡控制軟件　MX2-BSW

顯微鏡控制軟件顯示畫面

顯微鏡控制軟件MX2-BSW不僅能進(jìn)行各種顯微鏡控制和AF，還能綜合控制深紫外線觀察單元和電動(dòng)載物臺(tái)*1等。對(duì)于數(shù)碼照相機(jī)*2，能夠控制它的觀察和記錄。觀看實(shí)況影像時(shí)單擊需觀察的地方，快速移動(dòng)到視場(chǎng)中心、實(shí)況計(jì)量和檢測(cè)、影像記錄等一系列作業(yè)就能容易的得以實(shí)現(xiàn)。 *1對(duì)應(yīng)本公司*的電動(dòng)載物臺(tái) *2對(duì)應(yīng)奧林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394數(shù)碼照相機(jī)

實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化
符合SEMI　S2/S8標(biāo)準(zhǔn)

符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)安全的基準(zhǔn)），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識(shí)（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒

傾斜觀察筒示意圖

備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號(hào)，或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的U-SWETTR-5型號(hào)。

潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。 6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。

高抗振本體

高倍率觀察圖像示意圖

采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察，也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況。

可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)

手控開(kāi)關(guān)操作部

配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)，可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的zui合適的觀察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件 晶圓搬送機(jī)組合

晶圓搬送機(jī)

可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。

自動(dòng)載物臺(tái)組合

自動(dòng)載物臺(tái)

備有對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓的高精度電動(dòng)載物臺(tái)。通過(guò)PC控制，可以實(shí)現(xiàn)高級(jí)檢查、不良分析功能。