氦離子化氣相色譜儀GC-9560-HG適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測，儀器配備*高靈敏的氦離子化（PDHID）檢測器；采用華愛色譜擁有技術的四閥五柱的中心切割與反吹技術，進樣閥采用*的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥，連同*的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。

　　*，高純氣體的分析是一個復雜的過程，也是色譜分析的難點之一；不僅需要高靈敏的檢測器，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附、取樣及分析過程中是否有空氣混入、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)。上海華愛色譜分析技術有限公司總結了高純氣體分析過程中的技術難點，并給出了所有難點的解決措施，使氦離子化氣相色譜儀GC-9560-HG成為國內專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，很好的完成了氣體中微量雜質，特別是ppb級的雜質的分析。
　　
　　適用的國家標準：
　　
　　1、高純氣標準
　　
　　GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》   GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
　　
　　GB/T 8979-2008《純氮、高純氮和超純氮》    GB/T 4842-2006《氬》
　　
　　GB/T 4844.3-1995 《高純氦》                GB/T 17873-1999《純氖》
　　
　　GB/T 5829-2006《氪氣》                    GB/T 5828-2006《氙氣》
　　
　　HG/T 3633-1999《純甲烷》                  GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》
　　
　　2、電子氣標準
　　
　　GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》      GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
　　
　　GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》      GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
　　
　　GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》      GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
　　
　　GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》      GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
　　
　　GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》  GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》
　　
　　GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》    GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》
　　
　　GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
　　
　　系統(tǒng)配置：
　　
　?。?）GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀
　　
　?。?）氦離子化檢測器（PDHID）
　　
　?。?）中心切割系統(tǒng)
　　
　　（4）多柱箱系統(tǒng)
　　
　?。?）氦氣純化器
　　
　　（6）標準氣體
　　
　?。?）色譜柱
　　
　　（8）高純氦（純度>99.999％）
　　
　?。?）氧吸附與還原系統(tǒng)
　　
　?。?0）載氣減壓閥
　　
　?。?1）無死體積取樣閥
　　
　?。?2）GC-9560V4.0版反控色譜工作
　　
　　一、中心切割技術，實現(xiàn)氣體全分析：
　　
　　氦離子化氣相色譜儀GC-9560-HG采用多閥多柱的中心切割與反吹技術，該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過工作站設置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程，一次進樣即可完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質的檢測。
　　
　　1、吹掃型十通閥
　　
　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀所配備的均為*VICI生產(chǎn)的帶保護氣路的吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進樣和切換時空氣滲透到樣品之中，大大提高檢測靈敏度和準確性。
　　
　　VICI AG International是*的進樣閥供應商，其生產(chǎn)的進樣閥制作精良，外觀精美，所有材料均進行了防吸附處理，且整個閥體的死體積已減小到*，再配合吹掃氣路的保護，從而*排除空氣滲透對樣品中痕量雜質檢測的影響。
　　
　　2、經(jīng)特殊加工的色譜柱技術
　　
　　（1）色譜柱管材采用316L不銹鋼材料，且管材內壁均經(jīng)過鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產(chǎn)生；
　　
　　（2）色譜柱擔體均經(jīng)過特殊處理，避免氧吸附等問題的產(chǎn)生；
　　
　　（3） 預切柱采用華愛色譜獲得國家的微型填充柱技術，*樣品的分離，兼顧分離、穩(wěn)定與快速。
　　
　　二、多柱箱分離系統(tǒng)
　　
　　氣體樣品的形式多種多樣，同時雜質種類繁多，需要多根不同的色譜柱聯(lián)用來完成氣體樣品中的所有雜質的分離。由于不同色譜柱的*工作溫度不盡相同，在同一個柱箱中很難找到同時適合不同色譜柱工作的*工作溫度。GC-9560-HG采用多柱箱設計，有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題。
　　
　　在儀器的日常維護中，由于5A分子篩等不同擔體的色譜柱的活化溫度各不相同，如果在同一柱箱中進行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來，然后分別進行活化。GC-9560-HG的多柱箱設計可以有效解決上述問題，不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化，避免了日常儀器維護工作中需要拆裝色譜柱的問題。
　　
　　三、HP-2氦氣純化器：
　　
　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用高純氦氣為載氣，氦氣的純度直接影響到整個儀器對雜質的檢測靈敏度。試驗證明，高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個數(shù)量級。
　　
　　HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專載氣純化器，其純化基質是一種無揮發(fā)性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴散，防止氧氣純化層的形成，又可以進行雜質氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性，包括兩個溫度控制范圍。
　　
　　可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
　　
　　zui大操作壓力：1000Psi
　　
　　去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
　　
　　殘留濃度：≤10ppb
　　
　　四、進樣壓力校正系統(tǒng)
　　
　　傳統(tǒng)的色譜儀采用在進樣閥出口處控制流量的辦法來控制定量管內的進樣體積，試驗證明這種方法有著很大的分析誤差；
　　
　　以分析高純氫氣為例：標準氣是配置在氦氣中的六種雜質，而樣品氣是在氫氣中的六種雜質；由于氦氣和氫氣的分子量不同，從而造成了在相同流量下的進樣量是不*的情況；
　　
　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備壓力校正系統(tǒng)，克服因底氣不同造成的進樣量不*的問題，確保數(shù)據(jù)的準確性。
　　
　　五、無死體積取樣閥
　　
　　GC-9560-HG配備了無死體積的取樣閥，采用帶吹掃保護的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問題，將取樣過程對分析的影響降至zui低的水平。
　　
　　六、載氣減壓閥
　　
　　普通減壓閥由于大量死體積的存在，直接影響到經(jīng)減壓閥輸出后的載氣純度，造成載氣中的本底雜質濃度很高，從而影響到整個系統(tǒng)的檢測限。
　　
　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備具有兩級穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩(wěn)定性，確?；€的穩(wěn)定，同時也降低了閥體內的死體積，進一步提高檢測靈敏度。
　　
　　七、電子氣取樣系統(tǒng)
　　
　　電子氣體的分析有其特殊性，如硅烷遇O2極易自燃、有些電子氣體為有毒有害氣體，采用傳統(tǒng)的取樣方式無法完成電子氣的分析。
　　
　　GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀可以選配專業(yè)的電子氣取樣系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用吹掃、真空等方式確保系統(tǒng)中無O2存在，管路全部采用316L不銹鋼材料制成的外徑1/8"管道，內壁經(jīng)拋光和鈍化處理，防止吸附。接口采用鍍金卡套式接口，嚴格確保系統(tǒng)氣密性，排除了潛在危險。電磁閥和微型真空泵的應用使整個系統(tǒng)的操作更加方便，通過色譜工作站可完成吹掃，取樣，進樣等一系列操作。
　　
　　八、具備反控功能的GC-9560氣相色譜儀
　　
　　GC-9560氣相色譜儀是上海華愛色譜分析技術有限公司針對高純氣體分析的特點設計的一款具有反控功能的氣相色譜儀。儀器采用大屏幕LCD液晶顯示器，中文菜單式操作，顯示直觀、操作方便；

　　
　　儀器高度自動化，通過工作站設置的時間程序，可以完成對中心切割反吹系統(tǒng)的自動控制；
　　
　　儀器具備八階程序升溫功能，并采用多柱箱設計，滿足復雜樣品的分離；
　　
　　*的雙后開門設計，滿足快速降溫和近室溫操作的需求。