納米探測(cè)平臺(tái)是一種的解決方案，它將mibot納米機(jī)械手轉(zhuǎn)變?yōu)閺?qiáng)大的納米探針，用于掃描電鏡中半導(dǎo)體器件和材料的原位電特性表征。精心設(shè)計(jì)以盡量減少對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾，泄漏電流可低至100 fa/v。屏蔽電纜將每個(gè)探頭從舞臺(tái)連接到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的引線連接器。這個(gè)平臺(tái)允許您在幾個(gè)毫米的工作空間上獨(dú)立放置多達(dá)8個(gè)探針，分辨率高達(dá)納米。最后但并非最不重要的是，舞臺(tái)緊湊的設(shè)計(jì)使得這種解決方案甚至對(duì)那些顯微鏡有一個(gè)小真空室的人來(lái)說(shuō)也是可行的。