FTM107-A膜厚監(jiān)控儀 一．FTM107-A膜厚監(jiān)控儀應用范圍： FTM107-A膜厚監(jiān)控儀適用于普通蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，通過觸摸屏和數碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數據，包括速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時間。 FTM107-A膜厚監(jiān)控儀采用的觸摸屏技術，控制和顯示均通過觸摸屏實現；同時配有數碼管顯示實時速率和厚度，以適應習慣數碼管顯示的技術人員。到達設置厚度，自動關閉擋板或蒸發(fā)源。采用了更的軟件和硬件設備，進一步提高了儀器抗干擾能力。 二、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術特點： 1.全觸摸屏操作顯示，簡單易用； 2.顯示薄膜厚度，可控制二個擋板/蒸發(fā)源； 3.監(jiān)控鍍膜層數達到99層； 4.提供RS232/RS485接口。 三、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術參數： FTM107-A監(jiān)控儀 晶振頻率 6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) 顯示方式 5”彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚 操作方式 觸摸屏 厚度范圍 0-99μ9999? 厚度顯示分辨率 1? 速率范圍 0-999.9? 速率顯示分辨率 0.1?/s 鍍膜層數 99層 探頭數量 4個 工具因子 0.01-99.99 材料存儲 257+自定義10種 通 訊 RS232/RS485 擋板/源控制 2組觸點，到達厚度關擋板/蒸發(fā)源 鍍膜顯示 速率曲線/數值 鍍膜巡回次數 99次 機箱尺寸 480×280×89mm(2U 19”機箱) 四．特殊功能： （1）具有人工停止鍍膜功能 （2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比 （3）顯示鍍膜結束后的監(jiān)測實厚、材料和層次 
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