測量項目

點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離等）、點、點、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)

測量范圍

X軸（橫導(dǎo)軌）

150mm

Z1軸（傳感器）

25mm

Z軸（立柱）

500mm

測量精度

X軸

(L=X軸導(dǎo)軌移動距離)

±(1.5+2L/100)μm

Z1軸

(H=Z1軸方向測量高度)

±(1.8+4H/100)μm

X軸水平臂

直線度

1.5μm/150mm

光柵分辨率

0.2μm

光柵產(chǎn)地

進口

Z1軸傳感器

分辨率

0.1μm

傳感器類型

光柵傳感器

產(chǎn)地

進口

移動方向

前/后 雙方向

測力

0.5-6g

測針針尖

硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

測量速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

定位速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

圖形放大/縮小

圖形放大

可任意縮小、放大

綜合調(diào)整臺

綜合調(diào)整臺

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm

Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

安裝要求

電源

220-240V  AC, 50HZ，單獨地線；功率消耗450W

壓縮空氣

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

環(huán)境要求

工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露），良好地線，無明顯振源