如研磨后的器件達(dá)到5um以?xún)?nèi) 可以用平晶進(jìn)行檢測(cè)未達(dá)到 繼續(xù)研磨 器件可以不用下盤(pán)。
LY -5 檢測(cè)120以?xún)?nèi)
LY -7 檢測(cè)170以?xún)?nèi)
LY -9 檢測(cè)220以?xún)?nèi)
LY -30 檢測(cè)650以?xún)?nèi)
二 達(dá)到5um以?xún)?nèi)用平面平晶體檢測(cè)
.首先看是否有條紋。是否合格以300的密封器件為例的。
檢測(cè)的整個(gè)面 必須首先看到同心圓才合格
2um的面型精度 整個(gè)面的同心圓條紋 小于3個(gè)
1個(gè)同心圓條紋精度大于在0.8um(200的為0.2 um)
3個(gè)就是2.4um左右
也就是說(shuō)必須是小于3個(gè)的同心圓條紋才合格。
N<3
Cdw-30 I 30mm Φ30 15mm Cdw-45 I 45mm Φ45 15mm
Cdw-60 I 60mm Φ60 20mm Cdw-80 I 80mm Φ80 20mm
Cdw-100 I 100mm Φ100 25mm Cdw-150 I 150mm Φ150 30mm
Cdw-200 I 200mm Φ200 40mm Cdw-250 I 250mm Φ250 40mm
Cdw-300 I 300mm Φ300 40mm Cdw-350 I 350mm Φ350 40mm