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平面平晶 平行平晶

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平面平晶主要和高精度鈉光燈箱配套使用,用于以干涉法檢驗(yàn)塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測(cè)量?jī)x器以及測(cè)量工具量面的研合性和平面度,適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計(jì)量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)使用,也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測(cè)。

 

測(cè)量時(shí),把平晶放在被測(cè)表面上,且與被測(cè)表面形成一個(gè)很小的楔角  ,以單色光源照射時(shí)會(huì)產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測(cè)表面,且平晶與被測(cè)表面間的間隙很小,則由平晶測(cè)量面P 反射的光線與被測(cè)表面反射的光線在測(cè)量面 P 發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平行,且分布均勻,則表示被測(cè)表面的平面度很好;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為,式中 為兩干涉條紋間距離, 為干涉條紋的彎曲值, 為光波波長(zhǎng),白光波長(zhǎng)一般以0.6微米計(jì)算。

當(dāng)干涉條紋平直、互相平行,且又均勻分布時(shí),則說明其平面度好;當(dāng)干涉條紋不規(guī)則、且無規(guī)律時(shí),則說明其平面度不好。

平面平晶的干涉條紋平直則表示平面好.如果是彩色光圈一圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈則用所看到的圈數(shù)乘以0.3則是它的平面度.如是弧形則表示是0.3以下

根據(jù)干涉條紋計(jì)算平面度誤差
1
)測(cè)量時(shí)若出現(xiàn)向一個(gè)方向彎曲的干涉條紋,如圖所示,調(diào)整平晶位置,使之出現(xiàn)35條干涉帶,則平面度誤差的近似值為:
f= (v/w)
×(λ/2)
λ為光波波長(zhǎng),白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm,v為干涉帶彎曲量,w為干涉帶間距
但是如何精確確定vw的值,我也很迷惑!
2
)根據(jù)光圈計(jì)算平面度誤差
若被測(cè)平面凹或凸,則會(huì)出現(xiàn)環(huán)形干涉帶,調(diào)整平晶的位置,使干涉帶數(shù)為最少,則平面度誤差的近似值為:
f
(λ/2) ×n
λ為光波波長(zhǎng),白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm;n為平晶直徑方向上的光圈數(shù)


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