功能：1、測量方向：由上向下2、鍍層元素范圍：Al鋁～U鈾3、電壓：50kV（1.2mA）4、探測器（可選）：正比計數(shù)器、Si-Pin、SDD硅漂移5、單準直器：0.3mm?、0.5mm?,6、多準直器：0.1、0.2、0.3、0.5、0.05X0.05、0.05X0.25自動6位準直器7、鍍層層數(shù)：多至5層8、測量點尺寸：圓形測量點，直徑約0.2-0.8毫米9、測量時間

功能：

1、測量方向：由上向下

2、鍍層元素范圍：Al鋁～U鈾

3、電壓：50kV（1.2mA）

4、探測器（可選）：正比計數(shù)器、Si-Pin、SDD硅漂移

5、單準直器：0.3mm?、0.5mm?,

6、多準直器：0.1、0.2、0.3、0.5、0.05X0.05、0.05X0.25自動6位準直器

7、鍍層層數(shù)：多至5層

8、測量點尺寸：圓形測量點，直徑約0.2-0.8毫米

9、測量時間：30秒-180秒

10、樣品倉尺寸：337mm (長)x 248mm(寬) x 100 mm (高)

11、儀器尺寸：350 mm(長)x 530mm(寬) x 320 mm (高)

12、同時定量測量8個元素。

13、定性鑒定材料達24個元素。

14、自動Z軸樣品臺

15、自動XY平臺操控

16、攝像頭：40X高清CCD攝像頭