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外觀尺寸


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X、Y測(cè)量行程


200*200mm


Z軸可調(diào)行程 


1.6-100mm


有效測(cè)量范圍


160*160mm


掃描最小步距


1μm


光斑直徑


18~30μm


橫向分辨率


9~15μm


軸向分辨率


30nm


檢測(cè)重復(fù)精度


0.1μm


與表面角度


90°±2°


測(cè)量厚度范圍


10~2900μm


適應(yīng)材質(zhì)


Si(硅)、Doped-Si(涂層硅)、Sic(碳化硅)、Sapphire(藍(lán)寶石)、GaAs(砷化鎵)、Glass(玻璃)、GaN(氮化鎵)


測(cè)量原理


紅外光干涉


電     源



AC220V±10%


     


300kg


     


Noise 70db


運(yùn)行系統(tǒng)


Operational system Win10



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