現今智能手機產業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動了包括半導體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個電子制造業(yè)的飛速進步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學性能、適合大樣品的檢測、的人體工學設計等諸多優(yōu)點將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產品，由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用。在很多應用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。

長壽命高強度白色LED照明：始終一致的色溫

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質量和精確的色彩復現提供了保障。

功能性：適合所有晶園尺寸

新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于晶圓直徑200mm，MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機，實現可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進行檢測。

模塊化：全面可定制

新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設計讓檢測者能夠根據應用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應用而設計，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結構內，鏡架、鏡筒以及其他部件均經過防靜電處理。

觀察與分析工具

• 的分析工具

• 支持潔凈室合規(guī)性的設計

的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結果提供更多選擇。

從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集

通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用，MIX觀察技術能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發(fā)現用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。

半導體晶圓上的結構

半導體晶圓上的光刻膠殘留物

聚光鏡

輕松生成全景圖像: 即時圖像拼接

利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動載物臺無需進行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。

硬幣的即時MIA圖像

生成全聚焦圖像: EFI

奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動或電動Z軸調焦使用，可輕松實現結構可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。

集成電路芯片上的凸塊

利用HDR同時捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

采用圖像處理技術的高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺品質，從而有助于生成具有專業(yè)級外觀的報告。

從基本測量到高級分析

測量對于品質、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法，即便是入門級奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點擊按鈕一下，圖像分析任務即可快速精準完成。在大幅度縮減重復性任務的處理時間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測工作上。

高效的報告創(chuàng)建

創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據預先設定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復雜的報告。編輯非常簡單，報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠對采集的圖像進行數字變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進行數據傳遞更加方便。