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原硅片PL模組

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簡介原硅片PL檢測模組可將原硅片中肉眼不可以見的缺陷檢測出，同時兼容多晶、單晶、類單晶硅片

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簡介

原硅片PL檢測模組可將原硅片中肉眼不可以見的缺陷檢測出，同時兼容多晶、單晶、類單晶硅片。

可針對于單晶、多晶、類單晶硅片的位錯、絨絲、晶界等缺陷檢出。

此模組為標準模組，可集成于硅片分選機、制絨上料機，達到控制產(chǎn)品質(zhì)量、節(jié)約制造成本的目的。

  

                        硅片及對應PL圖像


產(chǎn)品特性

檢測出硅片中各種肉眼不可見缺陷

自動預測硅片的效率參考值

自動統(tǒng)計各缺陷與良品數(shù)量及比例，

產(chǎn)能大于6000片/小時

無接觸式檢測，不對硅片二次損傷

提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本


技術(shù)指標

可檢測缺陷：

 絨絲、晶界、黑斑、污染、雜質(zhì)、隱裂等

模塊產(chǎn)能:

    >6000P/H

相機類型：

 高清紅外線掃工業(yè)相機

適用電池片規(guī)格：

 156至210mm(±0.5mm) ， 160~200μm

                           

缺陷圖像 

  


   



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