簡介

原硅片PL檢測模組可將原硅片中肉眼不可以見的缺陷檢測出，同時兼容多晶、單晶、類單晶硅片。

可針對于單晶、多晶、類單晶硅片的位錯、絨絲、晶界等缺陷檢出。

此模組為標準模組，可集成于硅片分選機、制絨上料機，達到控制產(chǎn)品質(zhì)量、節(jié)約制造成本的目的。

                        硅片及對應PL圖像

產(chǎn)品特性

檢測出硅片中各種肉眼不可見缺陷

自動預測硅片的效率參考值

自動統(tǒng)計各缺陷與良品數(shù)量及比例，

產(chǎn)能大于6000片/小時

無接觸式檢測，不對硅片二次損傷

提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本

技術(shù)指標

缺陷圖像