簡介

隱裂模組對應(yīng)可集成到制絨上料段、刻蝕上料段以及各類硅片分選機中。

通過此模組嚴格把控來料質(zhì)量，減少碎片率，節(jié)約客戶的制造成本。

兼容硅片的不同方向線痕的上料方式（線痕方向垂直/平行于硅片運動方向）。

可適用于單晶、多晶、類單晶等各種硅片與制程片，降低多工序的碎片率。

可快速、準確檢出帶有隱裂缺陷的硅片。  

 原硅片                                  刻蝕片

產(chǎn)品特性

兼容不同線痕方向的上料方式

兼容多晶、單晶、類單晶、PE后半成品電池片

提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本

自動統(tǒng)計各缺陷與良品數(shù)量及比例 

產(chǎn)能大于6000片/小時

技術(shù)指標

缺陷圖像

  多晶硅片隱裂                單晶硅片隱裂               刻蝕片隱裂             藍膜片隱裂