MFPLASMA系列產品概況廠家：天科創(chuàng)達產地：中國專為工廠生產設計
MF PLASMA系列
產品概況
廠家：天科創(chuàng)達
產地：中國
專為工廠生產設計，適用材料清潔與活化
可用于處理各種高分子材料，金屬，玻璃等表面
腔體內氣浴設計，工藝氣體分布更加均勻
規(guī)格參數
| 設備型號 | PT-100-MF | PT-350-MF | PT-650-MF |
| 真空腔體 | W400mm;D400mm;H600 mm | W700mm;D800mm;H600 mm | W800mm;D1000mm;H800mm |
| 射頻電源 | 500W；13.56MHz | 5KW；40KHz | 5/10KW；40KHz |
| 1KW；13.56MHz | |||
| 真空計 | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 | 1×10-2～1×105 |
| 流量計 | 2通道MFC （0-200sccm） | 2-4通道MFC （0-200sccm） | 2-4通道MFC （0-200sccm） |
| 工藝氣體 | 氧氣，氬氣，氫氣，氮氣等 | ||
| 控制方式 | 手動/自動 | 手動/自動 | 手動/自動 |
| 人機界面 | 10寸觸摸屏 | 10寸觸摸屏 | 15寸觸摸屏 |
| 主機尺寸 | 800（W）×800（D）×1800（H） | 1500（W）×1300（D）×1800（H） | 1600（W）×1600（D）×1800（H） |
| 冷水機 | 跟隨設備配套 | 跟隨設備配套 | |
| 真空泵 | 可選干泵或油泵(真空泵組) | ||
| 安裝條件 | AC380V；50/60Hz；3Phase 5Wire | ||
| 其他說明 | 有單獨通風泄壓通道，設備相關配置可按要求定制 | ||
設備特點
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