型號(hào)

SURFTENS universal

（通用型）

SURFTENS HL

（專(zhuān)業(yè)晶圓檢測(cè)）

SURFTENS Automatic

（工業(yè)型）

SURFTENS WH30

（工業(yè)型）

手動(dòng)/自動(dòng)

手動(dòng)

手動(dòng)

自動(dòng)

自動(dòng)

測(cè)量臺(tái)

標(biāo)準(zhǔn)支承面100mm× 100mm（可拓展），高度可調(diào)（50mm）

適用于200mm或300mm晶圓的可選，樣品最厚5mm

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量區(qū)域200× 200mm。適用大平面（如液晶玻璃基板，8-12 英寸英寸的晶圓等）樣品厚度5mm，可全自動(dòng)高精度定位

3軸晶圓裝載機(jī)械臂，適用于直徑200mm和300mm晶圓；200mm晶圓裝載系統(tǒng)或300mm前開(kāi)式晶圓送盒；激光晶圓掃描器；真空吸盤(pán)系統(tǒng)；開(kāi)槽系統(tǒng)

滴液系統(tǒng)

手動(dòng)滴液，高度可調(diào)，可升級(jí)雙注射器、自動(dòng)滴液系統(tǒng)，添加電極驅(qū)

動(dòng)和軟件控制功能，用戶(hù)可自定義滴液量

自動(dòng)滴液（電機(jī)驅(qū)動(dòng)），軟件控制單次劑量

與Automatic類(lèi)似，全自動(dòng)馬達(dá)，可通過(guò)編程控制液體精準(zhǔn)定位在晶圓上的滴點(diǎn)位置與滴液過(guò)程

光學(xué)系統(tǒng)

顯微物鏡0.8x（可升級(jí)1.6x/3.2x），光學(xué)傾角可調(diào)（0-6°）

1倍固定放大倍率，電機(jī)驅(qū)動(dòng)對(duì)焦，光學(xué)儀器傾角1°

固定放大倍率，電機(jī)驅(qū)動(dòng)對(duì)焦，光學(xué)儀器傾角1°。高分辨率CCD相機(jī)，440,000像素

附帶光學(xué)系統(tǒng)，高分辨率CCD相機(jī)，440,000像素

圖像采集系統(tǒng)

USB2.0相機(jī)（黑/白，130萬(wàn)像素，可升級(jí)500萬(wàn)像素和模擬攝像機(jī)）

高分辨率CCD相機(jī)，440,000像素

光照單元

長(zhǎng)壽命高能LED燈，亮度可調(diào)

長(zhǎng)壽命平板燈，亮度可調(diào)

長(zhǎng)壽命平板燈，亮度可調(diào)

長(zhǎng)壽命平板燈，亮度可調(diào)

擴(kuò)展組件

傾斜裝置（手動(dòng)，傾斜角90°，分辨率1°）；接觸角測(cè)量基板（一種通過(guò)使用光刻工藝顯示接觸角照片，用于核查測(cè)量?jī)x器精度玻璃基板）；恒溫箱（軟件控制，可以在高達(dá)80°進(jìn)行接觸角測(cè)量）。

傾斜裝置、接觸角測(cè)量基板、恒溫箱等

-

電熱板（清除表面遺留滴液）；風(fēng)機(jī)FFU（空氣過(guò)濾）

控制軟件

主要根據(jù)滴液法，可通過(guò)不同水滴形狀的擬合方法全自動(dòng)測(cè)量水滴的 接觸角，可手動(dòng)設(shè)置基準(zhǔn)，手動(dòng)測(cè)量接觸角，從兩種已知測(cè)量液體計(jì) 算測(cè)量接觸角固體的表面自由能。

軟件內(nèi)含評(píng)估模塊（Wu氏理論），通過(guò)兩種已知的測(cè)量液體來(lái)計(jì)算固體的表面自由能。軟件可通過(guò)掃描接口獲得所有圖像，可自動(dòng)計(jì)算的縮放比例。圖片文件可以BMP格式、JPEG格式等復(fù)制、讀取、儲(chǔ)存和打印。實(shí)時(shí)顯示接觸角的圖像（可選）；測(cè)量前進(jìn)和后退接觸角（可選）全自動(dòng)檢測(cè)隨時(shí)間變化的接觸角，時(shí)間間隔自由設(shè)定，最小50ms，在圖表顯示（可選）；同時(shí)測(cè)量左右接觸角，并計(jì)算中值（可選）

內(nèi)含評(píng)估模塊（Wu氏/OWRK理論），且測(cè)量系統(tǒng)提供液體數(shù)據(jù)庫(kù)，可供不同液體間測(cè)量比對(duì)，通過(guò)測(cè)量?jī)煞N不同液體的接觸角，計(jì)算被測(cè)晶硅的表面自由能。配高性能視頻數(shù)字化板（圖像采集卡），測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)搭建網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸、備份和存儲(chǔ)。軟件能自動(dòng)識(shí)別裝載端口、插槽分配情況，可區(qū)分不同尺寸的硅晶圓片并自動(dòng)分配，在測(cè)量前自動(dòng)開(kāi)槽。

提供3種用戶(hù)級(jí)別選擇，可定制

軟件功能拓展

軟件內(nèi)含評(píng)估模塊（Wu氏/OWRK理論），能夠提供固體表面和5種以下液體的接觸角測(cè)量，并進(jìn)行表面自由能計(jì)算；軟件還能實(shí)時(shí)視頻錄像，以AVI格式保存；最后檢測(cè)的結(jié)果也可以保存為一個(gè)記錄文檔或者視頻圖像。

軟件功能拓展實(shí)時(shí)視頻圖像顯示當(dāng)前接觸角；設(shè)定檢測(cè)時(shí)間間隔，并測(cè)量與時(shí)間相關(guān)的接觸角情況，顯示在圖表上（時(shí)間間隔自由設(shè)定，最小50ms）；在實(shí)時(shí)圖像上測(cè)量前進(jìn)和后退接觸角；同時(shí)測(cè)量左右兩邊的接觸角，并計(jì)算中值；測(cè)量滴液期間和滴液后液體體積。

控制器：3軸步進(jìn)電機(jī)控制器，可進(jìn)行微小步距操作，控制樣品在X/Y軸方向定位，控制滴液針頭在Z軸方向定位

控制器：3軸步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)晶圓承載平臺(tái)，定位精度±0.05mm

接觸角測(cè)量范圍

1°-180°

1°-180°

1°-180°

1°-180°

測(cè)量分辨率

0.05°

0.05°

0.05°

0.05°

測(cè)量重復(fù)性

±0.1°

±0.1°

±0.1°

±0.1°

測(cè)量精度

±0.5°

±0.5°

±0.5°

±0.5°

液滴體積再現(xiàn)性

0.1μL（根據(jù)實(shí)時(shí)視頻圖像得出）

0.1μL（根據(jù)實(shí)時(shí)視頻圖像得出）

0.1μL

0.1μL

應(yīng)用

在特殊表面處理技術(shù)中，通過(guò)工藝特性、工藝參數(shù)的調(diào)整和生產(chǎn)控制使表面潤(rùn)濕能力改變前后，客觀(guān)準(zhǔn)確地測(cè)量表面自由能。

SURFTENS universal是一套堅(jiān)固耐用、實(shí)用性強(qiáng)的接觸角測(cè)量?jī)x器，特別適應(yīng)工業(yè)領(lǐng)域和科學(xué)研究的需求。而且該儀器操作簡(jiǎn)單，經(jīng)過(guò)短期的培訓(xùn)，任何人都能輕松使用。

SURFTENS HL是專(zhuān)為半導(dǎo)體工業(yè)及科學(xué)研究而開(kāi)發(fā)的接觸角測(cè)量?jī)x器，特別適用于晶圓鍍膜和光刻過(guò)程檢控。針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，客觀(guān)地測(cè)量晶圓表面處理前后的自由能，檢查硅晶圓的潤(rùn)濕能力，在生產(chǎn)過(guò)程中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開(kāi)發(fā)新的鍍膜技術(shù)，由于系統(tǒng)的穩(wěn)定性高，特別適合作為標(biāo)準(zhǔn)儀器，用于技術(shù)控制。

針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì)，特別是用于控制晶圓的涂層和光刻工藝。檢查硅晶圓表面潤(rùn)濕能力，客觀(guān)檢測(cè)晶圓表面處理后的表面自由能，生產(chǎn)中控制技術(shù)參數(shù)、保證生產(chǎn)質(zhì)量或開(kāi)發(fā)新的鍍膜技術(shù)。適用于無(wú)塵室要求。

應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的，專(zhuān)業(yè)全自動(dòng)表面張力檢測(cè)分析；實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝載與測(cè)量結(jié)合（FOUP→裝載→滴液→測(cè)量→移液→FOUP），可應(yīng)用于無(wú)塵室中，潔凈等級(jí)：100。