SG-632M芯片檢測顯微鏡一、產品用途SG-632M芯片檢測顯微鏡是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的
SG-632M芯片檢測顯微鏡
一、產品用途
SG-632M芯片檢測顯微鏡是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的。作為高級金相顯微鏡用戶在使用時能夠體驗其性能,可廣泛應用于半導體、
FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測,可觀察較厚的標
本。穩(wěn)定、高品質的光學系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。符合人機工程學要求的設計,使您在
工作中感到舒適和放松。
二、產品特點
1. UIS無限遠光學系統(tǒng)。
2. WF10×/Φ23mm超大視野目鏡、長工作距離明場金相物鏡。
3. 采用長壽命鹵素燈光源的,光效率更高。
4. 明場、偏光、微分干涉功能。(選購)
5. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
6. 檢測顯微鏡配置了數(shù)碼攝影系統(tǒng),各種放大倍率,并由計算機對圖像進行各種處理、編輯、保存和輸出(如打印等) 或進入多媒體系統(tǒng)及電子信箱。
三、技術規(guī)格
1. 光學系統(tǒng):無限遠校正光學系統(tǒng)
2. 觀察鏡筒:30°鉸鏈式三目頭,瞳距50mm-75mm
3. 平場目鏡:WF10×/23mm
4. 無限遠長工作距離明場金相物鏡
放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑 | 工作距離(mm) |
PL L5× | 0.10 | 25.00 |
PL L10× | 0.25 | 11.00 |
PL L20× | 0.40 | 8.00 |
PL L50× | 0.75 | 1.90 |
PL L100X(干) | 0.80 | 3.00 |
5. 轉換器:帶DIC插孔五孔轉換器
6. 雙層移動平臺:尺寸 182mm×151mm;移動范圍75mm×50mm
7. 調焦機構:粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm
8. 光源:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/50W, AC85V-230V,亮度可調節(jié)
9. 偏光裝置:檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路
10. 濾色片:插板式濾色片(綠、藍、中性)
11. 適配鏡:直徑:59mm,放大倍率:0.5倍 ,內調焦距:0~3mm 調焦后可鎖緊
12. 顯微鏡工業(yè)相機:圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時間: 0.244ms-2s;光譜響應范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數(shù)據(jù)接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動調整
13. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對所攝圖像進行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴展;長度,角度,弧長測量;點,線,平行線,垂直測量;園、橢圓測量;矩形,不規(guī)則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數(shù)測量。
四、標準配置
1. 正置金相顯微鏡/1臺
2. 觀察目鏡筒/1只
3. 平場目鏡WF10×/1對
4. 長工作距離平場物鏡5×、10×、20×、50×、100×/各1只
5. 移動工作臺/1臺
6. 專用適配鏡0.5×/1只
7. YH-630顯微鏡工業(yè)相機/1套
8. 0.01mm校準尺/1片
9. 12V50W鹵素燈泡/2只
10. 插板式濾色片(綠、藍、中性)/1組
11. 產品合格證、保修卡及說明書/1份
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