SG-6351硅片檢測(cè)顯微鏡(研究級(jí)) 一、產(chǎn)品用途 SG-6351硅片檢測(cè)顯微鏡,儀器采用了反射和透射兩種照明形式,并配有偏光裝置。在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)和偏光觀察,又可在透射光照明下作明場(chǎng)觀察。本儀器配備攝影裝置與顯微鏡相連接拍攝照片等。儀器造型新穎、性能良好、使用方便可靠,可供工廠、高等院校、科研機(jī)構(gòu)及電子工業(yè)部門作金相、礦相、晶體、微電子等方面的試驗(yàn)與分析研究之用。 二、產(chǎn)品特點(diǎn) 1. 穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。 2. WF10X(Φ22)大視野目鏡,無限遠(yuǎn)系統(tǒng)金相物鏡。 3. 儀器采用了反射和透射兩種照明形式,并配有偏光裝置。 4. 在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)和偏光觀察,又可在透射光照明下作明暗場(chǎng)觀察。 5. 顯微鏡配置了成像系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)在計(jì)算機(jī)上顯示圖像并保存圖片,圖像可進(jìn)行各種處理、編輯、保存和輸出 (如打印等) 或進(jìn)入多媒體系統(tǒng)及電子信箱。 三、技術(shù)規(guī)格 1. 光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)光學(xué)校正系統(tǒng) 2. 大視野目鏡:WF10X/22mm 3. 平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑N.A | 工作距離(mm) | L L5× | 0.10 | 29.4 | PL L10× | 0.25 | 16.0 | PL L20× | 0.40 | 10.6 | PL L50× | 0.55 | 5.10 | PL L100X(干) | 0.80 | 3.01 |
4. 顯微鏡總放大倍率:50×-1000× 5. 轉(zhuǎn)換器:帶DIC插孔五孔轉(zhuǎn)換器 6. 雙層移動(dòng)平臺(tái),尺寸:190×160mm,移動(dòng)范圍80×50mm 7. 調(diào)焦粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002 mm 8. 照明光源: ① 透射照明:鹵素?zé)?2V50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) ② 落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V50W,AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) 9. 適配鏡:直徑59mm,放大倍率0.5倍 ,內(nèi)調(diào)焦距0~3mm 調(diào)焦后可鎖緊 10. 圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072×2048,26@1536×1024;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時(shí)間: 0.244ms-2s;光譜響應(yīng)范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數(shù)據(jù)接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動(dòng)調(diào)整。 11. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對(duì)所攝圖像進(jìn)行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴(kuò)展;長(zhǎng)度,角度,弧長(zhǎng)測(cè)量;點(diǎn),線,平行線,垂直測(cè)量;園、橢圓測(cè)量;矩形,不規(guī)則形狀的周長(zhǎng)、面積、重心位置等幾何參數(shù)測(cè)量。 四、標(biāo)準(zhǔn)配置 1. 正置金相顯微鏡/1臺(tái) 2. 三目觀察鏡筒/1只(在主機(jī)上) 3. 大視野目鏡10× /1對(duì) 4. 無限遠(yuǎn)金相物鏡5×、10×、20×、50×、100×.干/各1只 5. 0.5×專用適配鏡/1只 6. YH-630顯微鏡工業(yè)相機(jī)/1只 7. 0.01mm校準(zhǔn)尺/1塊 8. 玻璃載物片/1片 9. 備用鹵素?zé)襞?/span>/2只 10. 產(chǎn)品合格證、保修卡及說明書/1份
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