SG-863XB晶圓檢測顯微鏡(研究級) 一、產(chǎn)品用途 SG-863XB正置檢測顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)，比如金屬陶瓷、電子芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結(jié)構(gòu)、痕跡，都能有很好的成像效果。 二、產(chǎn)品特點(diǎn) 1. 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。 2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。 3. 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。 4. WF10×/Φ25mm超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡。 三、技術(shù)規(guī)格 1. 光學(xué)系統(tǒng)：無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng) 2. 觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺?，瞳?0mm-75mm 3. 平場目鏡：WF10×/25mm 4. 平場無限遠(yuǎn)長工作距離金相物鏡 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑N.A | 工作距離(mm) | PL L5× | 0.10 | 29.4 | PL L10× | 0.25 | 16.0 | PL L20× | 0.40 | 10.6 | PL L50× | 0.55 | 5.10 | PL L100×（干） | 0.80 | 3.00 |
5. 轉(zhuǎn)換器：內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器 6. 工作臺尺寸：352mm×310mm，移動(dòng)范圍：250mm×250mm 7. 調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸，范圍36mm，微動(dòng)0.002mm 8. 光源：垂直照明，帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素?zé)?2V100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié) 透射光，12V100W鹵素?zé)粽彰?，亮度可調(diào) 9. 偏光裝置：檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 10. 適配鏡：直徑59mm,放大倍率0.5倍 ，內(nèi)調(diào)焦距0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊 11. 顯微鏡工業(yè)相機(jī)：圖像采用Sony COMS傳感器,像素630萬;芯片靶面：1/1.8"；像素:2.4x2.4(μm);圖像采集速度:15@3072x2048,26@1536x1024；G光靈敏度：0.15mv-425mv;曝光時(shí)間: 0.244ms-2s；光譜響應(yīng)范圍：380-650nm(有紅外截止濾光片情況下)；掃描方式:逐行掃描；快門:電子快門；數(shù)據(jù)接口:USB3.0；白平衡:ROI 白平衡/手動(dòng)調(diào)整. 12. 軟件功能：圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能，可以對所攝圖像進(jìn)行文字編輯，比例尺顯示；超景深擴(kuò)展；長度，角度，弧長測量；點(diǎn)，線，平行線，垂直測量；圓、橢圓測量；矩形，不規(guī)則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數(shù)量。 四、標(biāo)準(zhǔn)配置 1. 檢測顯微鏡/1臺 2. 觀察鏡筒/1只（在主機(jī)上） 3. 10×目鏡/1對（在主機(jī)上） 4. 無限遠(yuǎn)長工作距離物鏡5×、10×、20×、50×、100×/各1只（在主機(jī)上） 5. 0.5×專用適配鏡/1只 6. YH-630顯微鏡工業(yè)相機(jī)/1只（630萬） 7. 0.01mm校準(zhǔn)尺/1片 8. 移動(dòng)工作臺/1只（在主機(jī)上） 9. 12V100W鹵素?zé)?/span>/2只 10. 插板式濾色片（綠、蘭、中性）/1組 11. 產(chǎn)品合格證、保修卡及說明書/1份
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