工作臺

100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm

重復(fù)再現(xiàn)性0.75μm以下

定位精度±3.0μm

物鏡

5×、10×、20×、50×、100×

照明

LED照明

AF

自動聚焦激光方式

攝像頭

CCD 500萬像素

分辨率

LMPLFLN20× N.A0.40 W.D12.00mm 0.177μ/Pixel

LMPLFLN50× N.A0.50 W.D10.60mm 0.071μ/Pixel

測定再現(xiàn)性

0.1μm以下

軟件

專用軟件SLM101

測定功能

自動線寬測定功能

選項

自動傳送對應(yīng)