通過整合光學(xué)顯微鏡的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
昆山奧巴儀器行供應(yīng)奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前zui光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測(cè)量
共聚焦自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)光路 | 隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為個(gè)成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。 |
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng) STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性 提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見問題] Ÿ 短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
Ÿ 目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。
Ÿ 由于可測(cè)量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
[STM7解決方案] 共有四種的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察 [常見問題] 大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案] 奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。
測(cè)量物鏡 由于測(cè)量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。
金相物鏡 可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場，偏光和微分干涉觀察。
明場圖像 | 
暗場圖像 |
手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦模式的選擇 STM7測(cè)量顯微鏡系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列 對(duì)于Z軸的上下調(diào)焦，有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量內(nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載
物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。
手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型 | 手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 |
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型 | 使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。 |
一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性 [常見問題] Ÿ 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
Ÿ 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案] 控制裝置
對(duì)于奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-HS手動(dòng)操作裝置 | 
用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置 |
控制箱 各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以zui大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器 [常見問題] Ÿ 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無法保持一致，導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)
生變化。
Ÿ 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案] 能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
 | STM7測(cè)量顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示，保證了能在始終一致的照明條件下實(shí)施觀察。 |
物鏡切換時(shí)，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng) 光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次
切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。
5倍
強(qiáng)度50 | 
20X
強(qiáng)度70 | 
100X
強(qiáng)度120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。 [常見問題] 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí)，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案] 能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的zui小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器 無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在位置。當(dāng)用戶站
著進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相
機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量，或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí)，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)
行作業(yè)。
計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上 | 
計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上 |
高度測(cè)量：聚焦導(dǎo)航系統(tǒng) 實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測(cè)量 [[常見問題] 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。
[STM7解決方案] 具有*的重復(fù)性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
焦點(diǎn)下方 | 
焦點(diǎn)位置 | 
焦點(diǎn)上方 |
自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量 [常見問題] Ÿ 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。
Ÿ 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái)，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。
Ÿ 很難對(duì)微小的物體聚焦，比如引線。
[STM7解決方案] 快速、精準(zhǔn)的聚焦和不受操作者主觀影響的測(cè)量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列專用的自動(dòng)聚焦單元，該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時(shí)，保障了的對(duì)焦重復(fù)性。因此，無論操作
者的經(jīng)驗(yàn)如何，均可以在很短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何，使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可
以在zui短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦，而小直徑的激光，也能保證對(duì)微小物體，比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。
單次對(duì)焦模式 執(zhí)行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對(duì)焦。
跟蹤模式 啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦，即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下，也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察，從而極大地提高了Z軸的測(cè)量效率。
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。
測(cè)量支持系統(tǒng)
即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的測(cè)量
對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測(cè)量，奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。
拓寬了測(cè)量觀察范圍的配件 編碼物鏡轉(zhuǎn)換器  | 將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，
以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。
有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。 |
MM6-EMO正像單目鏡筒  | 正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。 |
STM7-FS腳踏開關(guān)  | 實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。 |
SZ-LW61白光LED照明裝置  | 具有小型，輕便，使用壽命長，功耗低等特點(diǎn)。此外，
這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。 |
SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置  | SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明，
并提供具有較高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇的照明。 |
旋轉(zhuǎn)載物臺(tái) 使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。 
STM7-RS100
STM7-CS100 100mm×100mm載物臺(tái) | 
STM7-RS200
STM7-CS200 200mm×200mm載物臺(tái) | 
STM7-RS300
STM7-CS300 300mm×300mm載物臺(tái) |
STM7規(guī)格 | | 小型手動(dòng)鏡架
STM7-SF | 小型電動(dòng)鏡架
STM7-SFA | 中型手動(dòng)鏡架
STM7-MF | 中型電動(dòng)鏡架
STM7-MAF | 大型手動(dòng)鏡架
STM7-LF | 大型鏡架
STM7-LFA |
顯微鏡
鏡架 |
聚焦 | 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm |
| zui大的測(cè)量高度 | 120 mm（配備測(cè)量物鏡）
175 mm（配備金相物鏡） | 90 mm（配備測(cè)量物鏡）
145 mm*1（配備金相物鏡） |
| Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 μm |
| Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)：
●聚焦按鈕：
移動(dòng)速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調(diào)焦旋鈕：
微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) | 手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)：
●聚焦按鈕：
移動(dòng)速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調(diào)焦旋鈕：
微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) | 手動(dòng)同軸
微調(diào)/粗調(diào)
焦旋鈕 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)：
●聚焦按鈕：
移動(dòng)速度
8 mm/s（zui大）
●微/粗調(diào)焦旋鈕：
微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn)
一周移動(dòng)量）
有4檔可供選擇
(800 μm，400μm,
100 μm，50 μm) |
| 照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 |
| 鏡筒 | 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) |
| 物鏡 | 測(cè)量顯微鏡用 | MM6-OB系列 |
| 金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 |
| 目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) |
| 載物臺(tái) | 測(cè)量范圍 | STM7-CS50:
X軸 50 mm, Y軸 50 mm
STM7-CS100:
X軸 100 mm, Y軸 100 mm | STM7-CS200:
X軸 200 mm, Y軸 200 mm | STM7-CS300:
X軸 300 mm, Y軸 300 mm |
測(cè)量精確度
(L：測(cè)量長度) | STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm |
| 精確度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg | 10 kg | 15 kg |
| 計(jì)數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 |
| 單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 |
| zui小分辨率 | 0.1 μm |
| 外形尺寸（寬×長×高）（mm） | 466 x 583
x651 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 |
| 重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg |
| 額定功率 | 100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A | 100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A |
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離 | 倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
| 物鏡 |
| 測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - |
| 金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場 | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN系列 | 長工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 |
| MPLFLN-BD系列 | 明場/暗場 | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLN-BD系列 | 明場/暗場
長工作距離 | - | - | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 |
