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測(cè)量顯微鏡STM7系列

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 廣州元升科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 廣州市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/5/31 14:36:41
  • 訪問次數(shù) 96

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STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對(duì)零部件和電氣組件的高性能三軸測(cè)量

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)


STM7顯微鏡具有優(yōu)良的多用途性,能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對(duì)零部件和電氣組件的高性能三軸測(cè)量。無論待測(cè)樣品是大的還是小的,測(cè)量?jī)?nèi)容是簡(jiǎn)單的還是復(fù)雜的,測(cè)量人員是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品。

  • STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
    STM7在設(shè)計(jì)上非常關(guān)注易用性
    自動(dòng)聚焦系統(tǒng)具有的重復(fù)性
    擴(kuò)寬觀察與測(cè)量范圍的配件
    實(shí)現(xiàn)高級(jí)測(cè)量系統(tǒng)



STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量 
 


多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度,此外,像差也被消除,以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。 

明場(chǎng)圖像
明場(chǎng)圖像
暗場(chǎng)圖像
暗場(chǎng)圖像
微分干涉圖像
微分干涉圖像
偏光圖像
偏光圖像

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

FEM分析
STM7-LF FEM 分析

為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度,STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平,同時(shí)確保地降低誤差。


作為高度測(cè)量的先鋒,繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

跟蹤對(duì)焦光路
主動(dòng)反射,共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量,而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。


嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

可追溯系統(tǒng)圖
測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。


STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性 

提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)

常見問題

  • 短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。 
     
  • 目前為止,大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí),效率不高。 
     
  • 由于可測(cè)量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上,以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。

STM7解決方案

  • 共有四種的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。 
     
  • 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng),并且可以在XY平面上自由穿梭。 
     
  • 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。 
     
stm7_50mm_stage_stmm7-CS50
STM7-CS50 
50mm x 50mm
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100
STM7-CS100 
100mm x 100mm
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200
STM7-CS200 
200 mm x 200 mm
50mm_stage_stmm7-CS300
STM7-CS300 
300 mm x 300 mm

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察

常見問題

  • 大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)S媒鹣辔镧R,無法同時(shí)滿足多種觀察要求。

STM7解決方案

  • STM7可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。

 測(cè)量物鏡


測(cè)量物鏡

測(cè)量物鏡明場(chǎng)圖片

由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離,因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測(cè)量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。

金相物鏡

金相物鏡明場(chǎng)圖片

明場(chǎng)圖像

金相物鏡暗場(chǎng)圖片

暗場(chǎng)圖像

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng),偏光和微分干涉觀察。


手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列

聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型,而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

Z軸手動(dòng)控制
 

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

Z軸電動(dòng)控制

使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作,同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。


一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性

常見問題

  • 其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元,因而顯著降低測(cè)量效率。 
     
  • 眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機(jī)的周圍,占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

對(duì)于STM7系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作,包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。

控制箱

手動(dòng)系統(tǒng)開關(guān)
用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型: 
STM7-HS手動(dòng)操作裝置
電動(dòng)系統(tǒng)控制單元
用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型: 
STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計(jì)可以地減少占用工作空間。



大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器

常見問題

  • 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。 這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無法保持一致,導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)生變化。 
     
  • 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí),每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng),這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

光強(qiáng)顯示器STM7的光強(qiáng)可定量顯示,這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀察和測(cè)量。


物鏡切換時(shí),無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)

光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能,可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作,現(xiàn)在就可以省略了。 

light_manager_x5_image
5x物鏡光強(qiáng) 50
stm7_light_manager_x20_image
20x物鏡光強(qiáng) 70
light_manager_x100_image
100x物鏡光強(qiáng) 120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器,確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

常見問題

  • 需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí),因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。


STM7解決方案

能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器

計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的最小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器

無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上,可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在位置。當(dāng)用戶站著進(jìn)行測(cè)量時(shí),可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量,或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí),只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。

顯微鏡上測(cè)量結(jié)果顯示器
計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上 

工作臺(tái)上測(cè)量結(jié)果顯示器計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上


自動(dòng)聚焦系統(tǒng)具有的重復(fù)性

實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量

常見問題

  • 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外,這種測(cè)量方法非常耗時(shí),效率低下。

STM7解決方案

具有*的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)

通過將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi),由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí),即使是看上去非常清晰的已經(jīng)合焦的圖像,也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量,因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。

目視高度測(cè)量 
目視測(cè)量結(jié)果差異
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng) 
focus_navigator_front_focus_area
焦點(diǎn)下方

聚焦導(dǎo)航焦點(diǎn)
焦點(diǎn)位置

focus_navigator_rear_focus_area
焦點(diǎn)上方

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量

常見問題

  • 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí),不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。
     
  • 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái),使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。 
     
  • 很難對(duì)微小的物體聚焦,比如引線。

STM7解決方案

專用自動(dòng)對(duì)焦單元:出色的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何,使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可以在最短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)

STM7 規(guī)格

小型鏡架 中型鏡架 大型鏡架
光學(xué)系統(tǒng) UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正)
顯微鏡 鏡架 觀察方法 BF/DF/DIC/KPO*1
反射/透射 反射/透射
照明系統(tǒng) 白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明,功耗: 10 W 
聚焦 電動(dòng)/手動(dòng) 手動(dòng) [手動(dòng)型]
電動(dòng) [電動(dòng)型]
行程 175 mm 145 mm*2
FOCUS 按鈕: 粗移速度 8 mm/s [電動(dòng)型]
微調(diào)焦速度 (可變) 800 µm/400 µm/200 µm/50 µm (旋轉(zhuǎn)一周移動(dòng)量) 4 檔可選 [電動(dòng)型]
測(cè)量高度 175 mm*3, 120 mm*4 145 mm*3, 90 mm*4
物鏡 測(cè)量物鏡/金相物鏡
觀察筒 正像單目鏡筒,正像三目筒(100:0/0:100)
載物臺(tái) 行程 50(X)x50(Y)mm 200(X)x200(Y)mm 300(X)x300(Y)mm
100(X)x100(Y)mm
測(cè)量精度 50 mm 行程:(3+L/50)µm (3+4L/200)µm (3+6L/300)µm
100 mm 行程:(3+L/100)µm
計(jì)數(shù)器顯示 軸數(shù) 3軸
單位 毫米/微米/英寸/密耳
計(jì)數(shù)器顯示> 最小分辨率 0.1μm
外形尺寸 [手動(dòng)型] 466(寬)x583(長(zhǎng))x651(高)mm 606(寬)x762(長(zhǎng))x651(高)mm 804(寬)x1024(長(zhǎng))x686(高)mm
[電動(dòng)型] 466(寬)x583(長(zhǎng))x811(高)mm 606(寬)x762(長(zhǎng))x811(高)mm 804(寬)x1024(長(zhǎng))x844(高)mm
重量 [手動(dòng)型] 約84kg 約152kg 約277kg
[電動(dòng)型] 約92kg 約159kg 約284kg
備注 *1: 簡(jiǎn)易偏光觀察 
*2: 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí),可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。 
*3: 采用金相顯微鏡使用的物鏡 
*4: 采用測(cè)量顯微鏡使用的物鏡


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