Chuck Stage:

● X-Y travel coarse300 mm x 300 mm

● X-Y travel fine10 mm x 10 mm （resolution < 1 µm）

● Z  up/down                        10 mm

● Theta travel                        ± 7o

● Planarity                             < ± 5µm

Probe Platen Drive:

● Z travel                            25mm

● resolution                       < ± 1 µm

Manual Microscope（1000X OR100x option）:

● Travel rangeX-Y-Z              50 mm x 50 mm x 50 mm

● Resolution                          <1um

Utilities:

● Power                                220V, 50Hz

● Vacuum                             -0.8 bar

● Compressed air                  4 bar