可測圓片尺寸

4，6 inch

X、Y工作臺

行程

X/Y：6 inch x 6 inch

分辨率

1μm

控制

進(jìn)口導(dǎo)軌

CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加電極（可選）

晶圓固定方式

真空吸附，分檔控制

Chuck Z軸（可選）

行程

10mm

分辨率

1μm

Chuck θ軸（可選）

微調(diào)范圍

±7 o （分辨率為0.1°）

Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金

容量

6-8個DC針座或者4個RF針座

微調(diào)旋鈕

分辨率為1um 

移動范圍為25mm 

導(dǎo)軌式移動

升降

8mm行程的升降抬桿，可鎖定

重復(fù)度精度為±2um

上、下片

方式

手動

行程

90 mm

顯微鏡

配置

（1）體式顯微鏡 

      目鏡：20X 

      變倍范圍：0.75X-5X 

      總放大倍數(shù)：15x-100x

      LED 光源照明 

（2）金相顯微鏡

      目鏡：20x 

      Zoom：1-2x 

      物鏡：2x，10x，20x，50x 

      總放大倍數(shù)：20x-1000x 

      光纖光源系統(tǒng)

根據(jù)客戶測試參數(shù)要求而定

行程

X/Y: 2 inch x 2inch (分辨率：1um) 

    Z: 2inch

抬起功能

顯微鏡可抬起，便于切換鏡頭。抬起后可以鎖定，防止掉落。

屏蔽罩（可選）

L1350*W900*H1300mm

防震桌（可選）

W*D*H:1100*800*900mm

2

相關(guān)濕度：20%-60%

3

現(xiàn)場要求：水平地板且足夠承受設(shè)備重量

                 較小的機(jī)械震動

                 通風(fēng)良好且無陽光直射

                 靠近電源設(shè)備

                 切勿靠近易爆、有毒氣體

配件： ? 220V 交流額定值，50Hz

           ? 真空泵：220V/50HZ, 14W, 0.16A

           ? 空壓機(jī)：220V/50HZ，額定電流2.8A，輸出功率580W

           ? CCD：輸入220V/50HZ，額定電流0.31A；輸出12V/1.0A

           ? 顯微鏡光源：220V, 50HZ, 200W

5

壓縮空氣

空氣要求

氣壓

流量

連接器外徑

潔凈、干燥、無油（防震臺用）

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

6mm

6

真空

/

<400mbar absolute，-610mbar gage

5 l/min（0.18 CFM）at SATP

6mm

屏蔽箱：1350mm長*900mm寬*1300mm高

防震桌：1200mm長*800mm寬*800mm高

貨運(yùn)尺寸（WxDxH）

探針臺及配件貨箱：980 x 840 x 900mm

屏蔽箱貨箱：1500 x 1050 x 1350mm

防震桌貨箱：1200 x 810 x 720mm

8

重量

探針臺重量

70kg

貨運(yùn)重量（帶包裝）

探針臺及配件貨箱：100 kg 

 屏蔽罩（帶防震臺）：300 kg