本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)，保證了高質(zhì)量的邊緣檢測(cè)和顯微檢測(cè)。在直線校準(zhǔn)中，采用夾線和叉線進(jìn)行觀測(cè)，比單純使用一個(gè)直線進(jìn)行觀測(cè)所獲得的結(jié)果更為精確。

MT-400AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導(dǎo)體客戶(hù)研發(fā)的一款高精度測(cè)量設(shè)備。使測(cè)量物體精確的對(duì)準(zhǔn)樣品邊緣是至關(guān)重要的，本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)，保證了高質(zhì)量的邊緣檢測(cè)和顯微檢測(cè)。在直線校準(zhǔn)中，采用夾線和叉線進(jìn)行觀測(cè)，比單純使用一個(gè)直線進(jìn)行觀測(cè)所獲得的結(jié)果更為精確。在主機(jī)設(shè)計(jì)方面，我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外，我們還采用了抗疲勞設(shè)計(jì)，操作人員即使長(zhǎng)時(shí)間使用，也不會(huì)感到疲勞和不適。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能，可提供更銳利的圖案?？稍赯軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦，由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降至。兩側(cè)均配備了同軸粗/微調(diào)手輪，以速度實(shí)現(xiàn)對(duì)焦，儀器內(nèi)置高精度光柵尺，可進(jìn)行精確的3軸測(cè)量。

特征及優(yōu)勢(shì)

■ 配置完善，測(cè)量精準(zhǔn)

■ 平臺(tái)可快速移動(dòng)，方便大尺寸產(chǎn)品測(cè)量

■ 符合人體設(shè)計(jì)的光學(xué)觀察

■ 測(cè)量數(shù)值實(shí)時(shí)顯示

■ 主機(jī)臺(tái)快速測(cè)量，電腦端同步展示

■ 便捷強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件

■ 可選配晶圓臺(tái)

■ 校準(zhǔn)和線性檢測(cè)

■ 包含獨(dú)立儀器桌、臺(tái)式電腦、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)和 22英寸的顯示器

■ 標(biāo)準(zhǔn)尺

由于微觀結(jié)構(gòu)檢測(cè)趨于細(xì)微化，不僅要滿(mǎn)足觀察和測(cè)量這一生產(chǎn)和質(zhì)量管理原則，而且測(cè)量顯微鏡同時(shí)對(duì)其精度要求也越來(lái)越高

人體工程設(shè)計(jì)

在顯微鏡主機(jī)設(shè)計(jì)方面，我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性。其儀器設(shè)計(jì)十分便于操作。此外，它還采用了抗體疲勞設(shè)計(jì)，操作人員及時(shí)長(zhǎng)時(shí)間使用，也不會(huì)感到疲勞和不適。

輔助對(duì)焦

新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能，可提供更銳利的圖案。可在Z軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦，由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降至。