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OLYMPUS MX61A顯微鏡

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MX61A自動(dòng)化半導(dǎo)體檢查顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn):具有能滿足靈活應(yīng)對(duì)特定檢查需要的Inspection-Engine和高度解析需要的Analysis-Engine兩個(gè)可選控制器(Dual-Engine)

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MX61A 自動(dòng)化半導(dǎo)體檢查顯微鏡
產(chǎn)品特點(diǎn):

• 具有能滿足靈活應(yīng)對(duì)特定檢查需要的 Inspection-Engine 和高度解析需要的 Analysis-Engine 兩個(gè)可選控制器(Dual-Engine) 。
通過兩個(gè)控制器,根據(jù)半導(dǎo)體檢查或解析的需要,輕松實(shí)現(xiàn)靈活的自動(dòng)化及需要的擴(kuò)展工作
MX61A
MX61A詳細(xì)規(guī)格:

光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng))
照明系統(tǒng)
反射照明系統(tǒng)(視野數(shù)26.5)
12V100W鹵素?zé)簦A(yù)定心型)明視野·暗視野分光鏡+一個(gè)分光鏡組件
可用觀察法
①反射明視野②反射暗視野③反射微分干涉④反射簡(jiǎn)易偏光⑤反射熒光⑥反射IR⑦DUV觀察
鏡筒
超寬視野正象可傾斜式三目鏡筒(視野數(shù)26.5)MX-SWETTR(光路分割比率100:0、0:100、傾斜角度0º-42º)
U-SWETTR-5(光路分割比率100:0、20:80、傾斜角度0º-35º)
紅外線用寬視野三目鏡筒(視野數(shù)22)U-TR30IR近紅外線觀察時(shí)使用
電動(dòng)換鏡轉(zhuǎn)盤
明·暗視野微分干涉六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤: U-D6BDREMC
明·暗視野微分干涉五孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤: U-D5BDREMC
控制器
作業(yè)組件MX-OPU61A
為內(nèi)置控制軟件的液晶觸摸屏 可以進(jìn)行顯微鏡的各種操作、觀察條件設(shè)定
手動(dòng)開關(guān)MX-HS61A 可以進(jìn)行顯微鏡的各種操作(1JOG調(diào)焦旋鈕+14操作按鈕)MX2-BSW 程序(為PC使用時(shí))控制MX61A及周圍電動(dòng)組件的應(yīng)用程序軟件
OS(WindowsXP Professional)CPU(Pentium4, 2GHz以上)內(nèi)存(512MB以上)
載物臺(tái)
帶右手用同軸驅(qū)動(dòng)旋鈕14×12英寸(對(duì)應(yīng)300mm晶圓)載物臺(tái)MX-SIC1412R2
帶右手用同軸驅(qū)動(dòng)旋鈕8×8英寸(對(duì)應(yīng)200mm晶圓)載物臺(tái)MX-SIC8R2
驅(qū)動(dòng)方式: 滾輪引導(dǎo)式滑動(dòng)帶驅(qū)動(dòng)(無架子)
離合機(jī)構(gòu): 2片離合板(由離合把手裹夾帶子/解除方式)
行程: MX-SIC1412R2 橫向356×豎向305mm
MX-SIC8R 橫向210×豎向210mm..電動(dòng)載物臺(tái)規(guī)格: 對(duì)應(yīng)300mm/200mm晶圓
外形尺寸·質(zhì)量
尺寸: 711(W)×853(D)×552(H)mm 質(zhì)量: 約56kg(鏡體: 約31kg)
300mm的標(biāo)準(zhǔn)栽物臺(tái)搭載時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)對(duì)焦規(guī)格 不含相機(jī)/選擇組件


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