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OLYMPUS MX51顯微鏡

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MX51工業(yè)檢測顯微鏡產(chǎn)品特點:緊湊的設(shè)計實現(xiàn)最小的占地空間鏡臂部分和鏡體分開,使高的樣品觀察成為可能標配158158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)選配長工作距離物鏡,極大方便磁頭檢查采用防靜電設(shè)計

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MX51 工業(yè)檢測顯微鏡
產(chǎn)品特點:

• 緊湊的設(shè)計實現(xiàn)最小的占地空間
• 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能
• 標配158×158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)
• 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
• 采用防靜電設(shè)計,極大方便磁頭檢查
• 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性,滿足SEMI S2/S8標準

MX51詳細規(guī)格:

光學(xué)系統(tǒng)
UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠校正光學(xué)系統(tǒng))
顯微鏡鏡體
Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦,載物臺行程范圍:32 mm(從焦面上行2 mm和下行30 mm)
行程相同:15 mm(配合透射光照明)
Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1 mm(1個單位1 µm)調(diào)焦機構(gòu)張力可調(diào)有調(diào)焦上限位機構(gòu)
照明系統(tǒng)
 
BX-KMA 明視場照明器
BX-RLA2 明視場/暗視場照明器
BX-URA2 照明器
觀察方式轉(zhuǎn)換
----
明視場-暗視場滑塊轉(zhuǎn)換法
分光鏡組(最多6個)換鏡旋座
可適用觀測模式
①明視場法
②諾曼爾斯基微分干涉襯比法
③偏振光照明法
①明視場法
②暗視場法
③諾曼爾斯基微分干涉襯比法
④偏振光照明法
⑤紅外光
①明視場法
②暗視場法
③諾曼爾斯基微分干涉襯比法
④偏振光照明法
⑤熒光照明法
光源
6V30W瓦鹵素?zé)?/div>
燈座: U-LS30-4
變壓器: TL-4
12V100W瓦鹵素?zé)?/div>
燈座: U-LH100L-3
電源整合在MX51顯微鏡中
水銀燈: U-LH100HGAPO
需配備BH2-RFL-T3外接電源
透射照明
明視場MX-TILLK照明燈,配備光纖照明附件(MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用)
電源供應(yīng)部件
----
額定電壓: 100-120/220-240V1.8A/0.8A 50/60Hz
連續(xù)式亮度調(diào)節(jié)盤
觀察鏡筒
U-BI30-2 寬場雙目鏡筒,U-TR30-2 寬場三目鏡筒,U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22)
U-SWTR 超寬場三目鏡筒,MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5)
物鏡換鏡轉(zhuǎn)盤
U-5RE-2, U-6RE
U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽)
載物臺
U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺
驅(qū)動方法:齒輪/齒條
Y 軸止動器: 手柄調(diào)節(jié)
MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺
 驅(qū)動方法:傳動帶式行程:158(X軸)×158(Y軸)mm
聯(lián)動方法: 離合(內(nèi)置離合開關(guān)手柄)
托架尺寸: 200×200mm透過觀察范圍: 100×100mm)
體積與重量
體積: 約430(寬)×591(長)×495(高)mm;重量:約26 kg(顯微鏡鏡體約重11 kg)


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