產(chǎn)品簡介
全新推出的PA80MET/PA120MET晶圓檢查/FPD顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計(jì)、不僅確保的光學(xué)性能,還具有安全穩(wěn)定的鏡架結(jié)構(gòu),使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性,極大的提高了顯微鏡的抗振能力,使PA80MET/PA120MET顯微鏡可廣泛的應(yīng)用于工業(yè)檢測(cè)及大型試樣觀察,是晶圓行業(yè)、FPD行業(yè)的理想檢測(cè)工具。
正置金相顯微鏡的成像效果受多種因素影響
一是球面象差。
造成這種現(xiàn)象的原因是球面單片透鏡的中心和邊緣厚度不同,即使是單色光通過時(shí)也會(huì)產(chǎn)生不同的折射,通過后不焦于一點(diǎn),軸上象點(diǎn)被一個(gè)彌散的光斑所取代,這就是球面象差。為改善球面象差,目前均采用復(fù)合透鏡,即在主透鏡前加入發(fā)散凹透鏡。不過,這并不能消除,所以在使用顯微鏡時(shí),可通過適當(dāng)調(diào)整孔徑光闌的大小來改善。
二是象域彎曲。
直立物體通過透鏡獲得彎曲的圖像,稱為象域彎曲。其原因是遠(yuǎn)軸細(xì)光束傾斜射入透鏡。這種象差對(duì)金相顯微照片特別不利,因此在金相照片時(shí)應(yīng)選擇平面消色差和平面消色差鏡。因?yàn)閷?duì)視場(chǎng)的邊緣進(jìn)行了色差校正。
三是多色象差。
多色差是指白光通過鏡頭后,由折射引起的光分解(色散)引起的一系列采色群象現(xiàn)象。它又分為垂直色差和水平色差。垂直色差是指從軸上某一點(diǎn)發(fā)出的非單色光的光束。由于組成中包含不同(λ)的光波,會(huì)發(fā)生色散,導(dǎo)致這些光線交給軸上不同的點(diǎn),形成一系列群體的色差。水平色差。由于不同顏色的光折射率不同,焦距也不同,但由于放大倍數(shù)與焦距有關(guān),目的物體不在軸上的點(diǎn)在離軸不同的距離處形成從而產(chǎn)生水平色差,也稱放大色差。
技術(shù)規(guī)格
| PA80MET | PA120MET |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) (CCIS®) |
總放大倍數(shù) | 50X-500X(選購100X,放大倍率1000X) |
目鏡 | UC-WF 10X/25,屈光度可調(diào) +/-5(標(biāo)配)(選購15X/20X目鏡) |
物鏡 | Plan S-APO平場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡BF/BD5X-50X(100X選配), LPlan S-APO長距平場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡(選配BF/BD 20X-100X) |
觀察筒 | 正像三目觀察筒 (FN 25),傾斜角 20°,三筒光路2檔選擇:(目視:相機(jī)-100:0,0:100) |
雙目鏡筒瞳距 | 50-75mm |
樣品厚度 | 29.5mm |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 五孔轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽(BF、BF/BD可選) ,電動(dòng)五孔轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽(選配)(BF、BF/BD可選) |
粗微調(diào)焦裝置 | 行程范圍:29.5mm,粗、微調(diào)同軸調(diào)焦 ,粗調(diào):17.7mm/轉(zhuǎn),微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn) 上限位,松緊調(diào)節(jié)環(huán) |
機(jī)械移動(dòng)載物臺(tái) | 8"載物臺(tái) | 12"載物臺(tái) |
尺寸325(W) X 325(D)mm | 尺寸520(W) X 400(D)mm |
行程200(X) X 200(Y)mm | 行程300(X) X 300(Y)mm |
照明 | 柯勒照明系統(tǒng) 12V/100W 長壽命鹵素?zé)?/span> |
擴(kuò)展功能 | 偏光觀察、DIC觀察、電動(dòng)平臺(tái)、透反射機(jī)型 |
其它 | 可配Moticam數(shù)碼成像系統(tǒng)和軟件 |