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自感應(yīng)探針原子力顯微鏡(標(biāo)準(zhǔn)型)

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產(chǎn)品型號(hào):WinSPM A? 標(biāo)準(zhǔn)的原子力顯微鏡? 采用壓電自感應(yīng)探針? 免激光調(diào)節(jié)、操作簡(jiǎn)單? 創(chuàng)新產(chǎn)品、品質(zhì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

采用壓電自感應(yīng)探針的原子力顯微鏡(AFM),創(chuàng)新產(chǎn)品、品質(zhì)。實(shí)現(xiàn)形貌成像分析、譜曲線測(cè)量等功能,免激光調(diào)節(jié)、操作簡(jiǎn)單。推薦教學(xué)教育領(lǐng)域。


儀器特點(diǎn)

  • 采用基于石英音叉的壓電自感應(yīng)探針,如Akiyama探針。

  • 測(cè)量成像無(wú)需激光檢測(cè),操作簡(jiǎn)單,原理清晰,可快速完成實(shí)驗(yàn)。

  • 支持頻率調(diào)制模式的形貌成像和力梯度-距離曲線等測(cè)量分析功能。

  • 采用高精度嵌入式測(cè)控系統(tǒng),主機(jī)隔音抗震設(shè)計(jì),抗干擾能力強(qiáng)。

  • 內(nèi)部空間足夠安裝高倍光學(xué)物鏡,方便與光學(xué)顯微鏡適配。

  • 可通過(guò)選配模塊和擴(kuò)展接口增強(qiáng)系統(tǒng)功能。

Akiyama自感應(yīng)探針


主要技術(shù)參數(shù)

  • 一鍵式快速自動(dòng)進(jìn)樣,行程23mm,最小步距50nm。

  • 手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品檢測(cè)位置,調(diào)節(jié)范圍±10.0mm。

  • 樣品尺寸的直徑20mm,厚度20mm。

  • 標(biāo)配管型掃描器,掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

  • 樣品逐行掃描成像,掃描成像速率0.1-30行/秒。

  • 一次掃描多幅圖像,圖像分辨高達(dá)1024×1024物理象素。

  • 自感應(yīng)探針采用頻率調(diào)制模式,數(shù)字化PID反饋控制的響應(yīng)時(shí)間為10μs。

  • 嵌入式測(cè)控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器(ARM + DSP),內(nèi)置數(shù)?;旌辖Y(jié)構(gòu)的鎖相放大器,與上位機(jī)連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。

  • 適配光學(xué)顯微鏡物鏡的最短工作距離僅需9.5毫米。


標(biāo)準(zhǔn)配置:

  • 主控制器

  • 主機(jī)底座及隔音罩

  • 主機(jī)探頭及探針架(A型)

  • 手動(dòng)樣品調(diào)節(jié)臺(tái)(調(diào)節(jié)范圍±10.0mm)

  • 管型掃描器(掃描范圍20μm)

  • 計(jì)算機(jī)及專(zhuān)用測(cè)控軟件

  • 儀器附件

A型探針架(WinSPM A-Probe)


選配模塊:

  • 掃描隧道顯微鏡(STM)模塊,包括:掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架(WinSPM T-Probe) 

  • 納米加工模塊,包括:圖形化納米加工、機(jī)械刻蝕、矢量掃描等功能

  • 輔助觀察光學(xué)顯微鏡系統(tǒng):物鏡倍數(shù):0.7X~4.5X;總放大倍數(shù):42-266X連續(xù)可調(diào)(14”有效顯示面積);工作距離:115mm

  • 管型掃描器模塊:掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格



應(yīng)用領(lǐng)域及實(shí)驗(yàn)

  • 實(shí)驗(yàn)一:原子力顯微鏡基本原理與操作,典型的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榻虒W(xué)教育行業(yè),包括:大學(xué)物理演示實(shí)驗(yàn),中學(xué)納米科技創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)。

  • 實(shí)驗(yàn)二:原子力顯微鏡形貌成像及分析,典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括:軟磁盤(pán)或光盤(pán)等常規(guī)樣品形貌成像及分析、光柵樣品的形貌成像及關(guān)鍵尺寸測(cè)量、納米臺(tái)階的測(cè)量分析。

  • 實(shí)驗(yàn)三:譜曲線測(cè)量與納米力學(xué)實(shí)驗(yàn),典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括:力梯度-距離曲線的測(cè)量分析、液體膜厚度的測(cè)量與分析。

  • 實(shí)驗(yàn)四:掃描隧道顯微鏡(STM),包括形貌成像和隧道譜。(需增配STM模塊)

  • 實(shí)驗(yàn)五:納米加工實(shí)驗(yàn),如圖形化納米刻蝕實(shí)驗(yàn)。(需增配納米加工模塊) 

  • 實(shí)驗(yàn)六:與高倍的光學(xué)顯微鏡或光譜儀器的聯(lián)用,如與光學(xué)顯微鏡聯(lián)用可實(shí)現(xiàn)從微米級(jí)到納米級(jí)分辨率的原位觀察。(需增配與光譜儀聯(lián)用模塊)。

儀器整體照片

光柵形貌圖(20×20μm)




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