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生產(chǎn)型等離子清洗機 TETRA 30

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生產(chǎn)型等離子清洗機 TETRA 30 產(chǎn)品說明： 34L——57L生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA30可以組合成不同的模塊系統(tǒng)，能滿足生產(chǎn)企業(yè)需求，也能夠按照客戶要求進行定制。 應(yīng)用領(lǐng)域： 主要應(yīng)用領(lǐng)域有：分析 (REM TEM)、考古、汽車、生物技術(shù)、 彈性體技術(shù)、電子技術(shù)、電子顯微鏡、精密工程、研究和開發(fā)、半導(dǎo)體技術(shù) 、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、 微系統(tǒng)技術(shù) 、太陽能電池技術(shù)、紡織技術(shù) 在線咨詢

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    設(shè)備：生產(chǎn)型等離子清洗機 TETRA 30
    銷售：
    產(chǎn)品功能：

    清洗：工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。 如：去除有機污染物，去除納米級微粒，去除氧化層

    活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理。


    蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。


    涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng)，形成聚合物層。疏水層，親水層，保護/阻隔層，干潤滑層，疏油層

     

     


    主要技術(shù)參數(shù) 1. 便捷的PC觸摸屏控制，操作系統(tǒng)為Windows CE5.0(ARM)
    2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強、氣體流量與時間等參數(shù)       
    3. 雙路工作氣體，氣體流量通過數(shù)字式流量計（MFC）控制
    4. *反應(yīng)艙為不銹鋼，寬305mm ×深625 mm×高300 mm ，容積約為50L
    5. 高周波電流頻率13.56MHz功率0~300W
    6. 反射波自動調(diào)節(jié)，無須手工調(diào)節(jié)
    7. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
    8. 運行模式為手動/自動
    9. *可存儲多套工藝程序，圖表實時顯示工藝過程
    10. 真空泵的排氣能力為16m3/Hour，配有強制進氣閥
    11. *配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
    12. 電源電壓：400V /16A

    選配：
    控制系統(tǒng)： 全自動PCCE控制/全自動PC控制。

     
    氣體：
    多路氣體
     
    腔體：
    矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 305 mm，高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm）矩形鋁，帶鉸鏈的門（約寬 305 mm，高 300 mm x 深 370 mm 或 625 mm）
     
    托盤：
    石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英/水冷型
     
    電極：
    單層或多層/帶氣體噴淋裝置的 RIE 電極
     
    壓力測量：
    Pirani/電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）
     
    發(fā)生器：
    80 kHz：0- 1000 W/3000 W 13.56 MHz： 0 - 300 W/600 W 2.45 GHz： 0 - 600 W/1200 W
     
    其他：
    ......


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