六自由度位移平臺(tái)可實(shí)現(xiàn) X、Y、Z、α、β、Ψ運(yùn)動(dòng)維度調(diào)節(jié)，可帶動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行精密位置調(diào)整。該平臺(tái)設(shè)計(jì)使其比串聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動(dòng)態(tài)范圍更大，無移動(dòng)電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小。

參數(shù)：

· 運(yùn) 動(dòng) 維 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ
· X、Y 行程：±8mm、±8mm
· Z 行程: ±9mm
· α、β行程：±3°
· Ψ 行程：±5°
· 推進(jìn)設(shè)備分辨率：1μm
· X、Y 運(yùn)動(dòng)精度：5μm
· Z運(yùn)動(dòng)精度：3μm
· X、Y 重復(fù)運(yùn)動(dòng)精度：2μm
· Z 重復(fù)運(yùn)動(dòng)精度：2μm
· α、β運(yùn)動(dòng)精度：0.069mrad
· X、Y 移動(dòng)速度：1mm/s
· Z移動(dòng)速度：2mm/s
· 負(fù)載（水平）：100kg
· 質(zhì)量：10.5kg
· 尺寸（直徑*高度）：390mm*310mm