技術(shù)參數(shù)：

儀器測量范圍

（1）XY測量范圍： 100ｘ100mm

（2）Z軸移動(dòng)范圍: 150mm

（3）分辨率: 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm（可調(diào)）

儀器精度

（1）XY軸： （2.2+0.02L）um

（2）Z軸： （5+0.04L）um

XY工作臺(tái)臺(tái)面尺寸：

（1）280ｘ280mm

（2）載物玻璃有效尺寸： 180ｘ180mm

（3）臺(tái)面承重： 10kg

（4）工件高度： 150mm

圖像觀察

（1）正像

（2）雙目鏡： 10倍

（3）物鏡： 3倍

透射照明

（1）光源： 鹵素?zé)襞?/p>

（2）光學(xué)系統(tǒng)： 帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)

（3）功能： 光強(qiáng)度可調(diào)，無級亮度調(diào)節(jié)