儀器簡介：陰極射線發(fā)光光譜儀配合客戶掃描電鏡SEM，可以獲得高空間分辨率和光譜分辨率的樣品表面形貌信息，無論是從大塊樣品到納米結(jié)構(gòu)樣品，CL都是作為無損材料表征力的技術(shù)之一

儀器簡介：

陰極射線發(fā)光光譜儀配合客戶掃描電鏡SEM，可以獲得高空間分辨率和光譜分辨率的樣品表面形貌信息，無論是從大塊樣品到納米結(jié)構(gòu)樣品，CL都是作為無損材料表征力的技術(shù)之一。

HORIBA陰極射線發(fā)光光譜儀基于反射光路模塊化設(shè)計，在諸多應(yīng)用中都能提供的信號探測靈敏度，無需特別制備樣品，在使用電鏡掃描的同時，可以實現(xiàn)結(jié)構(gòu)分析。

特點：

· 模塊化設(shè)計可以直接在電鏡上加裝陰極射線發(fā)光光譜儀

· 針對不同測試要求，提供相應(yīng)輔助附件

· 反射光路設(shè)計使得信號收集可以達到，減少信號衰減

· CCD掃描使用SWIFT模式可以10倍速度得到mapping數(shù)據(jù)

· 全部實現(xiàn)軟件控制操作

技術(shù)參數(shù)：