儀器名稱:場發(fā)射掃描電子顯微鏡
品牌: 日本電子
型號:JSM-7610F
產(chǎn)地:日本
儀器介紹:
1.超高分辨圖像的觀察,放大倍數(shù)1百萬倍
開發(fā)的強(qiáng)勵(lì)磁物鏡極靴設(shè)計(jì),JSM-7610F的象差小,圖像分辨率高,特別是在低加速電壓下仍保持很高的分辨率,適合于材料表面的高分辨圖像觀察,分辨率指標(biāo)如下:
1.0nm (二次電子,加速電壓:15kV)
1.3nm (二次電子,加速電壓:1kV)突出的低壓分辨率
2. 分子泵系統(tǒng):真空系統(tǒng)潔凈,抽氣速度快,維護(hù)簡單。
3.五軸馬達(dá)樣品臺標(biāo)準(zhǔn)控制:使用極為方便。
4.大樣品室:利用JSM-7610F的標(biāo)準(zhǔn)配置,即可進(jìn)行直徑為150mm樣品的觀察;絕大部分操作通過鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)。
5.能量過濾器:可以按任意比例混合二次電子和背散射電子圖像。
6. 圓錐型熱場發(fā)射電子槍:電子束虛漂移小,改變加述電壓無需手動(dòng)調(diào)節(jié)虛漂移點(diǎn)。7.光闌角控制透鏡: 無須手動(dòng)切換光闌,束流大小由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制。
8. 離子泵的電源支持:停電后最長可以堅(jiān)持14天,電池更換每年只需200元以內(nèi)。
9.良好的可操作性:控制界面設(shè)計(jì)非常友好,使用極為便利。
10.多通道顯示:最多可以選擇四種圖像同時(shí)顯示,高位二次電子像,低位二次電子像,背散射組成像和背散射拓?fù)湎瘛?/span>
11. 穩(wěn)定的GB模式:標(biāo)準(zhǔn)配置??梢杂行б种瞥潆姾吞岣唿c(diǎn)電壓下的分辨率。
12. 微區(qū)的成份分析幾何尺寸好:配合能譜儀(EDS)分析時(shí),工作距離只有8mm, 取出角35度,計(jì)數(shù)率是其他廠家的一倍。
13.超長的發(fā)射體壽命: 由于采用In-Lens技術(shù),我們的束流強(qiáng)度可以達(dá)到200nA,其他廠家只能做到20nA.我們在做成分分析時(shí),或搭載EBSD或WDS時(shí),分析速度和結(jié)果的精確度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于他們。采用了In-Lens電子槍技術(shù)和的氣鎖換樣系統(tǒng),我們的發(fā)射體質(zhì)保3年,用戶一般使用在6年以上。