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粗糙度輪廓一體機(jī) Infex6362N-sdn

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粗糙度輪廓一體機(jī)Infex6362N-sdn特點(diǎn):2一次測量實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析2實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量測量原理本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法

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粗糙度輪廓一體機(jī) Infex6362N-sdn

點(diǎn):

2 一次測量實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析

2 實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測量

Ø 測量原理

本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法,即通過X軸、Z1軸傳感器,測繪出被測零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn),通過電器組件,將傳感器所測量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機(jī),軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理,標(biāo)注所需的工程測量項(xiàng)目。

Ø 測量功能

輪廓測量功能:

尺寸:包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑

夾角:包含水平角、垂直角、夾角

位置公差:包含平行度、垂直度

形狀公差:包含直線度、凸度、圓弧

輪廓度輔助生成:包含輔助點(diǎn)、輔助線、輔助圓

 

糙度測量功能:

R參數(shù):Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr

W 參數(shù):Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、

Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr

P參數(shù):Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、

Motif參數(shù):Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、Saw

 

截止波長(λc):0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm

評(píng)定長度:λcX2,3,4,5,6,7,X軸有效范圍內(nèi)

濾波器:高斯濾波器,圓弧濾波器,非線性濾波器,2RC濾波器

Ø 測量范圍

項(xiàng)目

測量范圍

分辨率

傳感器

±7.5mm

0.02μm

驅(qū)動(dòng)器

100mm

0.2μm

立柱

320mm

-

 

Ø  技術(shù)規(guī)格

技術(shù)參數(shù)

指示精度1

±(0.8+2L/100μm

直線度2

0.3μm/100mm

Z軸線性精度3

±(0.8+|0.12H|μm

粗糙度指示精度

±(8nm+3.5%)

重復(fù)性4

1δ≤2nm

殘值噪聲5

12nm

圓弧6

≤(1.2+R/12)μm

圓弧Pt6

≤±0.3μm

角度7

≤±1′

運(yùn)動(dòng)控制

X軸驅(qū)動(dòng)方式

電動(dòng)

Z軸驅(qū)動(dòng)方式

電動(dòng)

X軸驅(qū)動(dòng)速度

0.05~15mm/s

Z軸驅(qū)動(dòng)速度

0.2-15mm/s

注:1、L為測量長度,精度檢驗(yàn)方法:激光干涉儀;2、λc2.5mm,測量速度≤0.3mm/s,測量平晶;3、H為的測量高度;4、采用Ra0.35-0.5μm的方波標(biāo)準(zhǔn)件;5、λc0.08mm,測量速度為0.1mm/s,測量平晶;6、2mmR10mm的標(biāo)準(zhǔn)球,取樣圓弧夾角為120°;7、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為5mm;8、以上參數(shù)均在20℃±2℃,階梯溫度不超過2/h和地面振動(dòng)RMS50Hz  2.5μm/s  RMS50Hz   5.0μm/s的環(huán)境下測得。




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