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■ 光學(xué)系統(tǒng)可以在 Bragg-Brentano 聚焦和 Johansson 或拋面鏡單色器自由切換;
■ 高分辨的反射技術(shù),讓檢測(cè)厚度精確至1-500nm,幾何平行光束采用了小反射角和薄膜附件,從而可以進(jìn)行薄膜或?qū)哟畏治觯?/span>
■ 將拋面鏡單色器與晶體開槽技術(shù)有機(jī)結(jié)合,并安裝在入射光束上,可以獲得高強(qiáng)度、低散射適合高分辨率測(cè)量的平行單色光;
■ 強(qiáng)大、簡(jiǎn)便的操作軟件使得檢測(cè)工作更加簡(jiǎn)單,軟件同時(shí)具有其他進(jìn)階功能,可以幫助用戶對(duì)復(fù)雜的譜圖進(jìn)行分析。




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