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德國(guó)Diener PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備 TETRA240

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公司名稱 深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
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更新時(shí)間 2024/1/23 10:36:56
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

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德國(guó)Diener PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備該P(yáng)ECVD系統(tǒng)可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。

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德國(guó)Diener PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

該P(yáng)ECVD系統(tǒng)可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。主要技術(shù)參數(shù)：PC控制軟件RF發(fā)生器 0~3000W 脈沖模式腔體防腐處理，400*400*1500mm,240L腔體加熱80℃帶觀察窗多路工藝氣體通道，MFC控制防腐處理HMDSO單體通道易燃易爆氣體安全閥Gas Shower氣浴電極設(shè)備外尺寸2000*600*1700mm進(jìn)口真空泵組電壓 3項(xiàng)400V