Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實驗室、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學(xué)實驗室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統(tǒng)包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精確真實的納米尺度信息，**的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對大多數(shù)帶電或污染樣品進(jìn)行超高分辨率研究。這些均為 Nova™ NanoSEM 場發(fā)射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征。

Nova NanoSEM系列產(chǎn)品除的光學(xué)（包括雙模*終透鏡）、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內(nèi)探測和射束減速的強(qiáng)大組合功能之外，采用了**一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測器的全新套件，并具備多功能SE/BSE 過濾功能，****地優(yōu)化重要信息。智能掃描模式可用于****減少假像。樣品清潔對于低電壓高分辨率成像至關(guān)重要，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免于碳?xì)浠衔镂廴荆┘右跃S護(hù)。NovaNanoSEM 450 配置了** 200 nA 射束電流和大型電動傾斜樣品臺，分析能力因此也大幅提升。一切均不會影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可使用其****的低真空能力表征或分析更多樣品，包括大多數(shù)非導(dǎo)電或污染材料。由于 FEI Helix™ 探測器技術(shù)，低真空表征可一直擴(kuò)展至超高分辨率。大小樣品均可輕易置入大型樣品室，并置于 Nova NanoSEM 高度精確且穩(wěn)定的樣品臺上。此外，高清相機(jī)和相關(guān)導(dǎo)航裝置可幫助迅速發(fā)現(xiàn)興趣所在區(qū)域并移至相應(yīng)區(qū)域。

至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列產(chǎn)品可提供***的整合工具**，包括 16 位板載數(shù)字圖案生成器和**制圖軟件、高速靜電射束熄滅裝置以及用于直接電子束寫入式納米結(jié)構(gòu)的氣體注射系統(tǒng)。Nova NanoSEM 650 樣品臺配置了壓電驅(qū)動馬達(dá)，可在 150 x 150 mm 移動范圍內(nèi)實現(xiàn)更細(xì)致且更高的 XY 可重復(fù)性。

性能特點(diǎn)

場發(fā)射 SEM、超穩(wěn)定高電流 Schottky 電子*
的光學(xué)和探測技術(shù)，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內(nèi) TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可實現(xiàn)**信息選擇和圖像優(yōu)化
低至 50 V 的射束著陸能量
1.4 nm @ 1 kV、無射束減速
**真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
高達(dá) 200 nA 的高真空或低真空分析
整合式 16 位掃描/制圖引擎
超潔凈、無油滾動和渦輪抽氣真空系統(tǒng)
150 x 150 mm 高精密、高穩(wěn)定壓電樣品臺 (Nova NanoSEM 650)

應(yīng)用領(lǐng)域

實驗室、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學(xué)實驗室及其他行業(yè)各種成像、分析和樣品制備需求。