德國SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品簡介：

EddyCus®TF實(shí)驗(yàn)室4040系列專用于上介質(zhì)尺寸的襯底的非接觸單點(diǎn)測量。

靈活適用的臺式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對薄層電阻、金屬厚度、光學(xué)透明度或電(非)各向同性進(jìn)行準(zhǔn)確的手動測量。

常見的應(yīng)用包括測量薄導(dǎo)電透明和非透明層、晶片或金屬片。

德國SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測量儀可選型號：

該設(shè)備可以配備不同的傳感器，包括用于電氣特性的渦流傳感器或用于光學(xué)特性的傳感器。設(shè)備平臺的變體涉及以下選項(xiàng)。

. 薄層電阻 – EddyCus® TF lab 4040SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]

. 金屬厚度測試 – EddyCus® TF lab 4040MT [nm, µm, mm, mil]

. 混合系統(tǒng)：光學(xué)和電氣傳感的組合 – EddyCus® TF lab 4040HS(薄層電阻 + 光學(xué)透射率、反射率和漫透射率)

. 各向異性測試儀 – EddyCus® TF lab 4040A

. 濕涂層厚度和殘留水分 – EddyCus® TF lab 4040HF

德國SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

. 非接觸式、實(shí)時、穩(wěn)健

. 準(zhǔn)確且可重復(fù)的測量

. 高測量質(zhì)量，不受以下因素影響：

  均勻的接觸質(zhì)量

  鈍化/封裝

  粗糙度

. 對敏感層無傷害

. 準(zhǔn)確測量

  傳統(tǒng)導(dǎo)電薄膜

  網(wǎng)格和線結(jié)構(gòu)

  多層系統(tǒng)

  隱藏和封裝的導(dǎo)電層

. 不穿

. 用于系統(tǒng)質(zhì)量保證的軟件指導(dǎo)手動映射

. 多種測量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能

. 節(jié)省空間的智能顯示器集成(用于每個觸摸屏的測量和數(shù)據(jù)評估)

. 使用客戶程序的軟件開發(fā)套件測試自動化;

德國SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄層電阻測量儀技術(shù)規(guī)格：

技術(shù)：非接觸式渦流(各種傳感器類型)

單點(diǎn)測量

定位區(qū)域：760 mm x 660 (open) mm

推薦的樣品尺寸：10 x 10 mm2 到 400 x 400 mm2(0.5 x 0.5 英寸到 16 x 16 英寸)

參數(shù)：

薄層電阻 0.1 mOhm/sq 至 100 kOhm/sq

金屬層厚度 1 nm 至 2 mm(其他應(yīng)要求提供)

光學(xué)透明度 0.01 – 100 %

電各向異性 0.33 - 3；