德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。該款測(cè)振儀可實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理。

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀是集面外振動(dòng)、面內(nèi)振動(dòng)、及表面形貌測(cè)量功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來(lái)的發(fā)展需要。顯微式激光測(cè)振儀可提供準(zhǔn)確的三維動(dòng)態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開(kāi)發(fā)和制造成本的同時(shí)提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計(jì)周期，簡(jiǎn)化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站

實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理

的亞pm位移分辨率

測(cè)量速度快，振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動(dòng)化測(cè)量，易于集成至商用探針臺(tái)上

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀典型應(yīng)用：

微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)，測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)：

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開(kāi)關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)：

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)

微型結(jié)構(gòu)的表面形貌：

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌

德國(guó)Polytec MSA-600顯微式激光測(cè)振儀技術(shù)參數(shù)：

1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計(jì)算而來(lái)。

2、 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請(qǐng)見(jiàn)后附表格。

3、隔振臺(tái)上每個(gè)頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。 

4、“光滑表面”：自相關(guān)相位評(píng)估?！按植诒砻妗弊韵嚓P(guān)譜包絡(luò)線評(píng)估

5 、在阻尼振動(dòng)溫控條件下，對(duì)鍍銀、平行對(duì)齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差

7、 平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 、30次階躍高度測(cè)量的均方根偏差，校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。

9、 在重復(fù)條件下，將30次連續(xù)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測(cè)量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。