| 參考價 | 面議 |
主要特點：
HPLK三軸系統(tǒng)為設(shè)計者提供了一種簡單高效的大面積掃描解決方案，可適用于那些工作面積較大，小光斑的應(yīng)用中。當工作面積和掃描孔徑增大時，與之相匹配的平場透鏡的價格會呈指數(shù)上升，而HPLK則采用了的高速動態(tài)聚焦模塊，從而有效控制住成本。
我們將聚焦鏡放置于掃描頭前，這樣其尺寸就變得無關(guān)緊要了。靈活的設(shè)計使HPLK系統(tǒng)只用一個簡單經(jīng)濟的鏡頭組就足以應(yīng)付各種尺寸的視場。為了維持高精確度，HPLK結(jié)合了*的熱調(diào)節(jié)動磁式振鏡，并通過精密MiniSAX伺服控制器控制，同時兼容GSI的WinMCL Plus和PCMARK MT控制軟件。
主要技術(shù)參數(shù)：
激光類型 | CO2 | CO2 | YAG | TYH/HeCd | DYH/Ar+ |
| 波長 | IR 10,600 nm | IR 10,600 nm | IR 1,064 nm | UV 325-355 nm | 488-532 nm |
| 掃描頭孔徑(mm) | 50 | 30 | 30 | 20 | 20 |
| 掃描范圍 (mm x mm) | 100 - 2,000 | 100 - 2,000 | 30 - 3,000 | 100 - 2,500 | 190 - 3,000 |
| 入射光直徑 (mm) | 9, 17 | 9, 17 | 6 | 1.3 – 3.3 | 2.4 |
| 功率cw (W) | 200, 500+ | 100,200,500+ | 150 | 80 | 80 |
| 增益漂移 (ppm/ ºC, typ.) | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 失調(diào)漂移 (μmR/ ºC, typ.) | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
| 樣品面積 (mm x mm) | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
| 光斑直徑 (μm) | 210 | 350 | 40 | 16 | 30 |
| 重復性 (μm) | 12 | 12 | 12 | 12 | 12 |
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