TS3000-SE Probe System

S3000-SE是TS3000探針臺(tái)系統(tǒng)的升級(jí)開(kāi)發(fā)，該系統(tǒng)配備了MPI ShielDEnvironment™，可實(shí)現(xiàn)超低噪聲，滿足設(shè)備的需求表征，晶圓級(jí)可靠性以及RF和mmW等多種應(yīng)用。 優(yōu)勢(shì)：

• 適用于多種晶圓量測(cè)應(yīng)用
• 模塊量測(cè) - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS
• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 可靠性測(cè)試 - 精確的壓力測(cè)試
• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量境，以得到的 1/f 超低噪測(cè)試結(jié)果
• 支援 fA 級(jí)超低噪 IV 量測(cè)
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測(cè)環(huán)境
• 可編程的顯微鏡滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡(jiǎn)便操作
• 溫度量測(cè)范圍 -60 °C to 300 °C

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲、低電容測(cè)量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測(cè)試環(huán)境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允許多達(dá) 4個(gè)端口的RF或多達(dá)8個(gè)端口的DC / Kelvin或高功率等多種測(cè)試組合。

探針懸?？刂?/p>

MPI探針懸停控制PHC™允許輕松手動(dòng)控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過(guò)測(cè)微計(jì)反饋精確控制，以實(shí)現(xiàn)探針到晶圓的精確定位。

快捷的晶圓裝載

雙前門(mén)通道和的卡盤(pán)設(shè)計(jì)使150、200、300mm晶圓，及微小器件的快速更換 兩只陶瓷專用射頻校準(zhǔn)AUX卡盤(pán)位于前面，可以很方便地進(jìn)行裝卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板集成到探針系統(tǒng)中，并基于數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶互動(dòng)而設(shè)計(jì)，隱藏式的鍵盤(pán)、鼠標(biāo)增加整體美觀。

溫控系統(tǒng)

MPI和ERS共同設(shè)計(jì)了新型300 mm熱卡盤(pán)AirCool®PRIME 系列，具有的熱靈活性，可將變溫時(shí)間減少60％， 減少轉(zhuǎn)換時(shí)間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進(jìn)行更輕松的測(cè)試以及現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)性是AirCool®PRIME熱卡盤(pán)系統(tǒng)的附加價(jià)值。 便捷式的觸摸屏實(shí)時(shí)顯示卡盤(pán)溫度，該觸摸屏位于操作員前方的便利位置，以實(shí)現(xiàn)快速的操作和即時(shí)的反饋。

ERS的AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下全系列探針臺(tái)系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃M(jìn)PI ShielDEnvironment™，與市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)相比，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。

安全測(cè)試管理（STM）系統(tǒng)

的STM系統(tǒng)可防止在測(cè)試過(guò)程中打開(kāi)正門(mén)，以保證測(cè)試過(guò)程的安全，任何情況下都無(wú)法打開(kāi)任何系統(tǒng)門(mén)。的智能露點(diǎn)控制程序可避免冷測(cè)試期間的積聚，系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)視CDA或氮?dú)獾牧髁?。如果流量中斷或流量不足，則STM™會(huì)自動(dòng)將卡盤(pán)轉(zhuǎn)換為安全模式，迅速將卡盤(pán)加熱至露點(diǎn)以上。MPI STM™的功能是通過(guò)保持安全的測(cè)試環(huán)境，使TS3000-SE的測(cè)量更加安全，可靠和方便

儀器集成

可選的儀器架可縮短電纜長(zhǎng)度，并提高 RF和mmW 應(yīng)用中的測(cè)量動(dòng)態(tài)性和方向性。

軟件套件SENTIO®

MPI自動(dòng)工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點(diǎn)觸摸操作控制SENTIO®軟件套件，簡(jiǎn)單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時(shí)間。“滾動(dòng)”，“縮放”，“移動(dòng)”命令模仿了現(xiàn)代智能移動(dòng)設(shè)備，使每個(gè)人都可以在短短幾分鐘內(nèi)成為專家。在活動(dòng)應(yīng)用程序與其余APP之間的切換僅需簡(jiǎn)單的手指操作即可。