電子級(jí)清潔管控系統(tǒng)可以對(duì)各類液體的顆粒度、清潔度、污染物進(jìn)行管理、控制、監(jiān)測(cè)和分析；設(shè)備及零部件沖洗顆粒污染物的管控及測(cè)試，純凈溶液和電子級(jí)用水中不溶性微粒的管控及測(cè)試，電子化學(xué)品中顆粒物控制及中小試評(píng)價(jià)。
本方案涵蓋控制系統(tǒng)、清潔系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等單元，利用動(dòng)力系統(tǒng)單元將所需清潔物質(zhì)通過清潔系統(tǒng)單元進(jìn)行循環(huán)清潔處理，利用監(jiān)控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，進(jìn)行相關(guān)的調(diào)整并循環(huán)自凈，最終達(dá)到相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。
本系統(tǒng)采用英國(guó)普洛帝“光阻測(cè)量顆?！焙汀熬芪⒓{米顆粒管控”兩項(xiàng)技術(shù)，可根據(jù)用戶的要求，內(nèi)置用戶所需多種管控工藝，實(shí)現(xiàn)多粒徑大小及數(shù)量的管控和檢測(cè)。
經(jīng)典第八代新應(yīng)用軟件系統(tǒng)平臺(tái)，集結(jié)初濾、精濾、終濾、清洗、檢測(cè)、報(bào)警、校準(zhǔn)和標(biāo)定各模塊可實(shí)現(xiàn)方便的全自動(dòng)化設(shè)定和操作，內(nèi)置判定標(biāo)準(zhǔn)、檢測(cè)曲線、模塊調(diào)試和聲光報(bào)警等。
與業(yè)ye內(nèi)lin先的智能系統(tǒng)公司合作，選擇其優(yōu)秀的智能監(jiān)控軍jun工級(jí)技術(shù)型工控機(jī)，系統(tǒng)穩(wěn)定，性能穩(wěn)卓zhuo越。
具有標(biāo)準(zhǔn)串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等，可外接普洛帝智能工廠等自動(dòng)化管理系統(tǒng)。
可按英標(biāo)、美標(biāo)、日標(biāo)、中標(biāo)等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行標(biāo)定、校準(zhǔn)。
提供校準(zhǔn)物質(zhì)（GBW），協(xié)助客戶每年一次的校準(zhǔn)計(jì)量工作。
提供行業(yè)獨(dú)du有的“OIL17服務(wù)星” 簽約式服務(wù)，365天無憂使用。
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：
GB/T 11446.1-2013 電子級(jí)水
GBT 11446.3-2013 電子級(jí)水測(cè)試方法通則
GB/T 11446.9 電子級(jí)水中微粒的儀器測(cè)試方法
SJ/T 11638-2016 電子化學(xué)品中顆粒的測(cè)試方法
GBT 29024.2-2016 粒度分析 單顆粒的光學(xué)測(cè)量方法 第2部分：液體顆粒計(jì)數(shù)器光散射法
ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter
ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration
JIS K0554-1995 高純度水中微粒子濃度的檢測(cè)方法
JIS B9925-2010 光散亂式液中粒子計(jì)數(shù)器－校正方法及び検証方法
技術(shù)參數(shù)：
訂制要求：各類液體檢測(cè)要求；
傳 感 器：第八代雙激光窄光檢測(cè)器（精確、穩(wěn)定、迅速）；
測(cè)試軟件：CCACS2.0分析測(cè)試軟件集成版；
控制方式：集成式工控機(jī)控制或工業(yè)PC 控制；
檢測(cè)方式：中國(guó)國(guó)標(biāo)、電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、日本標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)、ISO標(biāo)準(zhǔn)；
測(cè)試標(biāo)定：CN-PSL乳膠球計(jì)量、CN-ISO標(biāo)定計(jì)量、CN-NIST標(biāo)定計(jì)量；
操作方式：彩色液晶觸摸屏或鍵盤鼠標(biāo)操作；
管控精度：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、0.7、.08、1μm，2μm，3μm，5μm，10μm；
管控檢測(cè)：0.05~10μm（根據(jù)要求和傳感器）；
管控通道：1000 個(gè)，可任意4、6、8、16、32、64、128個(gè)尺寸范圍顆粒計(jì)數(shù)值；
管控流速：5mL/min～1500mL/min；
流速精度：<±1%；
管控體積：100mL~100L；
測(cè)試粘度：離線0~99厘斯；加壓可達(dá)500厘斯；
流體溫度：0℃～80℃；
環(huán)境溫度：-15℃～50℃；
接口方式：RS232或R485轉(zhuǎn)USB或USB接口 ；可定制尺寸；
模擬輸出：4mA～20mA；串口協(xié)議；MODBUS協(xié)議；
報(bào)告方法：顆粒數(shù)/ml及等級(jí)；
輸入電壓：100V～265V,50Hz～60Hz；
售后服務(wù)：普洛帝中國(guó)服務(wù)中心/軍計(jì)測(cè)。
鑒定機(jī)構(gòu)：西安中特計(jì)量檢測(cè)研究院
