硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱(chēng)，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級(jí)的硅氫化合物，通式為SinH2n+2。其中，甲硅烷最為常見(jiàn)，有時(shí)也將甲硅烷簡(jiǎn)稱(chēng)為硅烷。
硅烷的又一應(yīng)用是非晶半導(dǎo)體非晶硅。與單晶半導(dǎo)體材料相比非晶硅的特點(diǎn)是容易形成極薄的(厚度10nm左右)大面積器件，襯底可以是玻璃、不銹鋼、甚至塑料，表面可以是平面也可是曲面，因此可以制成各種性能優(yōu)異的器件。
硅烷已成為半導(dǎo)體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應(yīng)用還在向縱深發(fā)展: 低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路，也用于化合物半導(dǎo)體器件（砷化鎵、碳化硅等）。在超晶格量子阱材料制備中也有應(yīng)用。可以說(shuō)現(xiàn)代幾乎所有先進(jìn)的集成電路的生產(chǎn)線(xiàn)都需用到硅烷。硅烷的純度對(duì)器件性能和成品率關(guān)系極大，更高級(jí)的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。
硅烷作為含硅薄膜和涂層的應(yīng)用已從傳統(tǒng)的微電子產(chǎn)業(yè)擴(kuò)展到鋼鐵、機(jī)械、化工和光學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。含硅涂層可使普通鋼的高溫耐氧化能力提高到10萬(wàn)倍以上,也可使其它金屬的高溫化學(xué)穩(wěn)定性大大改善，使內(nèi)燃機(jī)葉片的耐蝕性明顯增強(qiáng)，使各種材料和零件之間的粘結(jié)強(qiáng)度大幅度提高，使汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)零件的壽命延長(zhǎng)，也可改變玻璃的反射和透射性能，從而得到顯著的節(jié)能和裝飾效果。在浮法玻璃生產(chǎn)過(guò)程中用硅烷在玻璃表面涂敷一層反光層其粘附力在長(zhǎng)期陽(yáng)光照射下不褪色, 透光率只有普通玻璃的1/3; 用氮化硅涂敷的大面積多晶硅電池（BSNSC) 已達(dá)到15.7%的高效率。用硅烷氣相沉積技術(shù)制造各種含硅薄膜在高技術(shù)中的應(yīng)用還在與日俱增。
硅烷還有一潛在應(yīng)用是制造高性能陶瓷發(fā)動(dòng)機(jī)零件尤其是使用硅烷制造硅化物（Si3N4, SiC等) 微粉技術(shù)越來(lái)越受重視。美、日等國(guó)正在花成億美元開(kāi)發(fā)用硅、氮化硅和碳化硅微粉制造耐高溫、高強(qiáng)度、高化學(xué)穩(wěn)定性陶瓷。使用硅烷氣相反應(yīng)的方法制備的微粉純度最高, 粒度細(xì)而勻, 可使陶瓷零部件性能大大提高。其應(yīng)用領(lǐng)域極廣，例如汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的閥門(mén)和透平增壓器轉(zhuǎn)子已實(shí)用化，高速軸承和高性能刀具已商品化，用于內(nèi)燃機(jī)可使工作溫度高達(dá)1400℃, 大大提高熱機(jī)效率，適用多種燃料，延長(zhǎng)使用壽命，此外還可作為火箭的隔熱瓦和隱身保護(hù)層。
一、在線(xiàn)式防爆型0-100ppm硅烷SIH4氣體檢測(cè)儀概述
SGA-501系列在線(xiàn)式防爆型硅烷氣體檢測(cè)儀是深國(guó)安運(yùn)用十多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，自主研發(fā)生產(chǎn)的一款功能強(qiáng)悍、外觀(guān)新穎、品質(zhì)的工業(yè)級(jí)硅烷氣體檢測(cè)儀表；實(shí)時(shí)在線(xiàn)監(jiān)測(cè)，超標(biāo)自動(dòng)聲光報(bào)警，還可通過(guò)內(nèi)置繼電器自動(dòng)聯(lián)動(dòng)設(shè)備，排除險(xiǎn)情；并支持4-20mA電流信號(hào)或RS485數(shù)字信號(hào)遠(yuǎn)傳，溫濕度功能選配；SGA-501系列硅烷氣體檢測(cè)儀采用深國(guó)安典型的家族式“盾形”外觀(guān)設(shè)計(jì), GB50493-2009《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測(cè)報(bào)警設(shè)計(jì)規(guī)范》研發(fā)生產(chǎn)，并取得相關(guān)的CPA型式批準(zhǔn)證書(shū)、國(guó)家防爆證和第三方計(jì)量證書(shū)。
SGA-501系列在線(xiàn)式防爆型硅烷氣體檢測(cè)儀采用工業(yè)級(jí)鋁合金防爆外殼，堅(jiān)固耐用；2.4英寸超大屏幕，顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項(xiàng)參數(shù)；中英文、繁體，操作界面，適合所有人群；強(qiáng)大聲光報(bào)警功能，三級(jí)報(bào)警點(diǎn)自由設(shè)置，當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時(shí)，自動(dòng)發(fā)出85dB以上的報(bào)警聲響。同時(shí)支持一鍵消音；強(qiáng)大的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，客戶(hù)可通過(guò)有線(xiàn)或無(wú)線(xiàn)連接，將數(shù)據(jù)打印或?qū)С?；?guó)外芯片，精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、誤差率低；多種信號(hào)傳輸，兼容90%以上廠(chǎng)家的氣體報(bào)警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機(jī)系統(tǒng)；全量程溫濕度補(bǔ)償，32位納米級(jí)微處理器+24位超高ADC采集芯片，確保產(chǎn)品在長(zhǎng)期運(yùn)行過(guò)程中的數(shù)據(jù)穩(wěn)定；
二、在線(xiàn)式防爆型0-100ppm硅烷SIH4氣體檢測(cè)儀特點(diǎn)
◆友好人機(jī)界面，展現(xiàn)各項(xiàng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)
2.4英寸高清液晶彩屏，實(shí)時(shí)顯示檢測(cè)氣體、檢測(cè)單位、檢測(cè)濃度值、溫度、濕度、報(bào)警記錄等信息
氣體安全系數(shù)與顏色預(yù)警法相結(jié)合，通過(guò)可視化的顏色管理來(lái)提醒相應(yīng)的安全系數(shù)
◆反應(yīng)靈敏、測(cè)量精準(zhǔn)、精確度高
深國(guó)安采用32位處理芯片，可以精準(zhǔn)識(shí)別到可媲美分析儀級(jí)別的ppb濃度
深國(guó)安100%選用國(guó)外氣體傳感器，極大地保障了產(chǎn)品安全性和穩(wěn)定性
◆檢測(cè)單位自由切換，檢測(cè)量程可大可小
深國(guó)安支持切換的單位有PPM、PPB、%LEL、%VOL、mg/m3、ug/m3、g/m3、g/l、mol/mol、umol/mol等
檢測(cè)量程可根據(jù)實(shí)際需求，將濃度單位擴(kuò)大或縮小
◆多種信號(hào)輸出可選，傳輸多樣化
深國(guó)安提供有線(xiàn)遠(yuǎn)程方式有：RS485、RS232、4-20mA、0-5V、以太網(wǎng)口等
深國(guó)安提供無(wú)線(xiàn)遠(yuǎn)程方式有：WIFI、ROLA、ZIGBEE、NOB-LOT、GPRS、藍(lán)牙等
◆采樣方式靈活多變，兼容性強(qiáng)
深國(guó)安設(shè)計(jì)，一個(gè)氣室可自然擴(kuò)散式采樣，也可管道式采樣，還可泵吸式主動(dòng)采樣
◆AI監(jiān)測(cè)，智能聯(lián)動(dòng)、安全無(wú)憂(yōu)
AI智能監(jiān)測(cè)，超標(biāo)自動(dòng)聲光報(bào)警、提醒人員安全撤離
內(nèi)置2組無(wú)源觸點(diǎn)繼電器，達(dá)到預(yù)設(shè)報(bào)警點(diǎn)時(shí)智能啟停相關(guān)聯(lián)動(dòng)裝置，自動(dòng)排除險(xiǎn)情
◆大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，記錄安全每一刻
自動(dòng)存儲(chǔ)開(kāi)機(jī)時(shí)間、關(guān)機(jī)時(shí)間、故障記錄和報(bào)警記錄等信息
支持10萬(wàn)條以上數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
存儲(chǔ)間隔時(shí)間可在1-600秒之間任意設(shè)置
◆嚴(yán)苛環(huán)境，應(yīng)對(duì)自如
防爆外殼，防爆等級(jí)：ExdⅡCT6 Gb
氣室設(shè)計(jì)，防護(hù)等級(jí)高：IP66
四、在線(xiàn)式爆型硅烷氣體檢測(cè)儀行業(yè)應(yīng)用
石油石化、化工廠(chǎng)、冶煉廠(chǎng)、鋼鐵廠(chǎng)、煤炭廠(chǎng)、熱電廠(chǎng)、自來(lái)水廠(chǎng)、醫(yī)藥車(chē)間、煙草公司、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、科研院校、樓宇建設(shè)、消防報(bào)警、污水處理、工業(yè)過(guò)程化控制、鍋爐房、垃圾處理廠(chǎng)、地下隧道、輸油管道、加氣站、地下管網(wǎng)檢修、室內(nèi)空氣質(zhì)量檢測(cè)、食品加工、殺菌消毒、冷凍倉(cāng)庫(kù)、農(nóng)藥化肥、殺蟲(chóng)劑生產(chǎn)等。
